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अर्धविराम एसआईसी उंगलियां विशेष भाग हैं जिनके प्राथमिक अनुप्रयोग अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में हैं, विशेष रूप से वेफर हैंडलिंग और समर्थन प्रणालियों में। उनका प्राथमिक कार्य एपिटैक्सी, आयन इम्प्लांटेशन, या थर्मल ट्रीटमेंट जैसी प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स का समर्थन करना या पकड़ना है, जिसमें विश्वसनीयता के साथ आयामी स्थिरता या स्वच्छता, महत्वपूर्ण है। सिलिकॉन कार्बाइड उत्कृष्ट थर्मल और रासायनिक प्रतिरोध के साथ यांत्रिक शक्ति को जोड़ती है, और ये विशेषताएं उन्नत अर्धचालक निर्माण लाइनों में आवश्यक हैं, इसलिए एसआईसी उंगलियां ऐसे अनुप्रयोगों में अपरिहार्य हैं।

की विक्रय सुविधासिलिकन कार्बाइडएक सामग्री के रूप में अपनी यांत्रिक अखंडता को खोए बिना अत्यधिक उच्च परिचालन तापमान का सामना करने की क्षमता है। अर्धचालक प्रक्रियाओं जैसे कि एपिटैक्सियल ग्रोथ, वेफर्स ने अचानक और विस्तारित अवधि में तापमान को ऊंचा तापमान का अनुभव किया। एक बार लगे हुए एसआईसी उंगलियां उच्च तापमान वाले चक्रों में अपने संरेखण और ताकत को बनाए रखती हैं, ताकि वेफर्स जगह में बने रहें, स्वीकार्य डिवाइस की उपज प्राप्त करने के लिए पर्याप्त प्रक्रिया एकरूपता बनाए रखने के लिए विरूपण या मिसलिग्न्मेंट से बचने के लिए आंदोलन को कम करें। एसआईसी उंगलियां उच्च-तापमान भार में बहुत अधिक सुसंगत होने के दौरान ठेठ सिरेमिक या धातु समर्थन की तुलना में अधिक लंबी सेवा प्रदान करती हैं।

SIC उंगलियों का एक प्रमुख लाभ उनका बेहतर रासायनिक प्रतिरोध है। सभी अर्धचालक अनुप्रयोगों में प्रतिक्रियाशील गैसें, प्लास्मा के संपर्क में आने और संक्षारक रसायनों के संपर्क में शामिल हैं। कण्य या क्षय सामग्री कणों या दूषित पदार्थों को जारी करके प्रतिक्रिया करती है जो वेफर गुणवत्ता को नीचा कर सकते हैं।सिलिकन कार्बाइडएक रासायनिक रूप से अक्रिय सतह है जो आक्रामक रसायनों से संलग्न या प्रतिक्रिया नहीं करेगी, एक स्वच्छ प्रक्रिया वातावरण का उत्पादन करती है और संदूषण के जोखिम को काफी कम कर देती है। यह वेफर हैंडलिंग टूल के स्थायित्व को जोड़ता है, सीधे स्थिर और दोहराने योग्य प्रक्रिया परिणामों में योगदान देता है जो उच्च उपज के साथ अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन में महत्वपूर्ण है।

सिसक्शन फिंगर के डिजाइन में एक और महत्वपूर्ण विचार है। वेफर हैंडलिंग बेहद तंग सहिष्णुता के साथ घटकों को लुभाता है, माइक्रोमीटर वेफर मिसलिग्न्मेंट का कारण बन सकता है, वेफर को तोड़ने की क्षमता बढ़ा सकता है, या प्रक्रियाओं में विसंगतियों का कारण बन सकता है। मशीनिंग और पॉलिशिंग तकनीक में नवीनतम का उपयोग करके, एसआईसी उंगलियों को उच्चतम आयामी सहिष्णुता और सतह के समतलपन और चिकनी खत्म के साथ उत्पादित किया जा सकता है। यह कण गठन के लिए कम क्षमता के साथ वेफर समर्थन के लिए एक स्थिर, अपेक्षाकृत जड़ता मुक्त मंच की गारंटी देता है, और स्वचालित अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के बार -बार प्रदर्शन।

एसआईसी उंगलियों के आधार सामग्री लाभों के अलावा, उन्हें प्रत्येक उपकरण या प्रक्रिया की आवश्यकता के अनुरूप भी विशिष्ट बनाया जा सकता है। अलग -अलग वेफर आकार, अलग -अलग रिएक्टर डिज़ाइन, और विभिन्न ऑपरेटर हैंडलिंग को विशिष्ट निर्मित समाधानों की आवश्यकता होती है। एसआईसी उंगलियों को किसी भी ज्यामिति या आयाम में बनाया जा सकता है, और सतह के उपचार को विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त के रूप में लागू किया जा सकता है।

एसआईसी उंगलियां भी परिचालन लागत को कम करती हैं, उनके लंबे समय तक प्रयोग करने योग्य जीवन (प्रतिस्थापन की आवृत्ति को कम करने) और थर्मल या रासायनिक तनाव से विफलता या जमाव संदूषण के कारण उनके कम डाउनटाइम्स के कारण। सेमीकंडक्टर निर्माताओं के लिए स्थायित्व और विश्वसनीयता दोनों के साथ, एसआईसी उंगलियों के उपयोग से अपटाइम, कम उपभोज्य लागत और समग्र बेहतर प्रक्रिया दक्षता में वृद्धि होती है।

व्यावहारिक रूप से, एसआईसी उंगलियों का उपयोग ज्यादातर एपिटैक्सी ग्रोथ रिएक्टरों में किया जाता है, क्योंकि वे चरम थर्मल और रासायनिक प्रक्रियाओं के दौरान स्थिर वेफर होल्डिंग प्रदान करते हैं। वे आयन प्रत्यारोपण या उच्च तापमान anneals में भी उपयोग किए जाते हैं जहां यांत्रिक स्थिरता, साथ ही रासायनिक जड़ता महत्वपूर्ण है। अनुप्रयोगों के दौरान, लगातार प्रदर्शन भी प्रक्रिया एकरूपता, वेफर अखंडता और गुणवत्ता प्रदान करने में महत्वपूर्ण वेफर हैंडलिंग में उनका उपयोग करता है।

अर्धविराम sic उंगलियां, के फायदे के मजबूत उदाहरण हैंसिलिकॉन कार्बाइड सामग्री उच्च तापमान, रासायनिक प्रतिरोधी, सटीक इंजीनियर अर्धचालक घटकों के लिए। SIC उंगलियों का भौतिक वातावरण उच्च तापमान स्थिरता, असाधारण रासायनिक प्रतिरोध और उच्च सटीक मानकों के निर्माण की क्षमता प्रदान करता है। एक मजबूत और अनुकूलन करने योग्य घटक स्थिर उत्पादन और बेहतर उपज और अर्धचालक निर्माताओं के लिए लागत दक्षता को प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण है। एसआईसी फिंगर्स प्रोसेस स्टेबिलिटी और क्वालिटी एश्योरेंस पर केंद्रित एफएबीएस के लिए एक उन्नत और विश्वसनीय समाधान बनी रहती हैं।