एल्यूमिना सिरेमिक हाथ

अर्धविराम एल्यूमिना सिरेमिक आर्म एक इंजीनियर घटक है जो अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए उच्चतम विनिर्देशों के लिए विकसित किया गया है। उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना (अलोओ) से बना, यह एक रोबोटिक आर्म है जिसमें यांत्रिक शक्ति, थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध का एक अनूठा संयोजन है। हाथ को न केवल वेफर हैंडलिंग के लिए उपयोग करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, बल्कि उन्नत फैब्रिकेशन साइटों में प्रक्रिया सहायता प्रदान करने की भी आवश्यकता है। यह भी सुनिश्चित करना चाहिए कि वेफर्स को संदूषण या क्षति के बिना स्थानांतरित, तैनात और संसाधित किया जा रहा है; पैदावार और प्रक्रिया की विश्वसनीयता में सुधार।

एल्यूमिनातकनीकी सिरेमिक में से एक है जो तकनीकी सिरेमिक क्षेत्र में व्यापक उपयोग पाता है। एल्यूमिना अपनी कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और आक्रामक वातावरण में स्थिरता के लिए जानी जाती है। संदूषण की शुरुआत किए बिना वेफर हैंडलिंग का प्रबंधन करने के लिए सिरेमिक आर्म के उद्देश्यों के लिए, यह एल्यूमिना के गुणों का फायदा उठा सकता है और इसकी उच्च शुद्धता और कण आकार के परिणामस्वरूप घर्षण के प्रतिरोध के उच्च स्तर को वितरित कर सकता है; इसलिए, यह अपने दोहराए गए आंदोलनों के दौरान अत्यधिक कणों को उत्पन्न नहीं करेगा, या तो वेफर्स के साथ या किसी अन्य प्रकार के अर्धचालक सब्सट्रेट के साथ।  घनत्व और कम पोरसिटी जो यह भी होस्ट भी मुक्त करने वाले कणों की क्षमता को सीमित करता है, और यह सुनिश्चित करता है कि यह सेमीकंडक्टर डेवलपमेंट फैब्स की अल्ट्रा-क्लीन आवश्यकताओं को पूरा करता है, जो सबमीक्रॉन डिवाइस हैंडलिंग के लिए आवश्यक स्वच्छता से अलग हो जाते हैं।

एल्यूमिनाइसकी यांत्रिक शक्ति के अलावा असाधारण थर्मल स्थिरता है। एल्यूमिना सिरेमिक आर्म युद्ध, क्रैकिंग या ताकत खोने के बिना चरम प्रक्रिया के तापमान को सहन कर सकता है। यह संपत्ति किसी भी प्रक्रिया चरण में निगमन के लिए आदर्श बनाती है जिसमें उन्नत तापमान के संपर्क में शामिल है, जैसे प्रसार, ऑक्सीकरण, या एनील चरण। वेफर्स ने एक चुनौतीपूर्ण प्रक्रिया वातावरण में स्थानांतरण के लिए विश्वसनीयता में सुधार किया होगा क्योंकि यह थर्मल साइकिलिंग के तहत यांत्रिक अखंडता को बनाए रखता है।

रासायनिक प्रतिरोध एल्यूमिना सिरेमिक आर्म का एक और मौलिक सकारात्मक है। अर्धचालक निर्माण में, उपचार अक्सर वेफर्स पर किए जाते हैं जिनमें मजबूत एसिड, अल्कलिस और अन्य आक्रामक रसायन शामिल होते हैं। जबकि धातु के घटक अशुद्धियों को कम कर सकते हैं या लीच कर सकते हैं, एल्यूमिना रासायनिक रूप से अक्रिय है, जो हाथ और वेफर्स दोनों की अखंडता की रक्षा करता है। इसलिए जड़ता गीली सफाई या रासायनिक वाष्प जमाव जैसे महत्वपूर्ण प्रक्रिया चरणों के दौरान संदूषण की संभावना को कम करते हुए घटक के जीवनकाल को लम्बा कर देती है।

एल्यूमिना सिरेमिक आर्म को संगतता और सटीकता पर ध्यान केंद्रित करने के साथ डिज़ाइन किया गया है। प्रत्येक हाथ को तंग आयामी सहिष्णुता के लिए बनाया जाता है, सटीक वेफर संरेखण और आंदोलन और स्वचालित वेफर हैंडलिंग उपकरण और रोबोटिक प्रणालियों के साथ संगतता सुनिश्चित करता है। चिकनी, पॉलिश सतह खत्म वेफर के साथ एक कम घर्षण इंटरफ़ेस की सुविधा है जो वेफर को खरोंचने की संभावना को कम करता है, जो वेफर अखंडता/पर्यावरणीय स्वच्छता और दोष दर में कमी के लिए आवश्यक है। ये इंजीनियर सहिष्णुता यह सुनिश्चित करते हैं कि हाथ एक तेजी से उच्च थ्रूपुट वातावरण में स्वतंत्र रूप से संचालित होता है और हाथ के लिए मानव और पूरी तरह से स्वचालित अर्धचालक वर्कफ़्लो दोनों के लिए अनुमति देता है।

एल्यूमिना सिरेमिक आर्म सिर्फ रासायनिक और यांत्रिक प्रदर्शन से परे पहुंचता है और कई स्तरों पर ऑपरेटिंग दक्षता और लागत बचत को प्रभावित करता है। सिरेमिक की सिद्ध टिकाऊ प्रकृति हाथ को दोहराए जाने वाले यांत्रिक लोडिंग के तहत डिजाइन दीर्घायु के संदर्भ में प्लास्टिक या एल्यूमीनियम जैसी समग्र सामग्रियों को बेहतर बनाने की अनुमति देती है, और इसलिए परिचालन डाउनटाइम और/या प्रतिस्थापन लागत की मात्रा को कम करता है। कठोर वातावरण का सामना करने की क्षमता में पर्यावरणीय स्वच्छता शामिल है, जबकि कम विनिर्माण रुकावटों का उत्पादन करना, जो लगातार वेफर उत्पादन में सुधार करता है, यानी उपज, और अंततः कम से कम स्क्रैप जो अर्धचालक निर्माताओं के लिए एक उच्च आरओआई (निवेश पर वापसी) के लिए अग्रणी है।

उपयोग के लिए विकल्पएल्यूमिना सिरेमिकअर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए एआरएम वस्तुतः अंतहीन है - गीले बेंच, प्रसार भट्टियों और बयान कक्षों के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने से लेकर सब्सट्रेट का उपयोग करने वाले मेट्रोलॉजी उपकरणों तक। इस उत्पाद की बहुमुखी प्रतिभा न केवल इसे वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए उपयोग करने की अनुमति देती है, बल्कि आगे स्वचालन स्थितियां जहां सटीकता, स्वच्छता और विश्वसनीयता की आवश्यकता होती है, भी संभव हैं। सेमीकंडक्टर उद्योग छोटे नोड्स की ओर बढ़ रहा है और डिवाइस निर्माण के भीतर जटिलता में वृद्धि कर रहा है, और जैसा कि उद्योग बेहतर हैंडलिंग समाधानों की मांग करता है जो विश्वसनीय और गैर-संगत हैं, सिरेमिक रोबोटिक आर्म एक स्पष्ट मार्ग को आगे बढ़ाता है।