1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स

अर्धचालक वेफर निर्माण में, अर्धचालक उपकरणों के बाद के निर्माण के लिए एपिटैक्सियल परत को वेफर सब्सट्रेट पर विकसित करने की आवश्यकता होती है। चूंकि एपीटैक्सियल विकास प्रक्रिया तापमान में उतार-चढ़ाव और संदूषण के प्रति अत्यधिक संवेदनशील है, इसलिए चयन विश्वसनीय हैवेफर संग्राहकअत्यंत महत्वपूर्ण हैं. वेफर एपिटैक्सियल प्रक्रिया में अपरिहार्य सहायक भागों के रूप में, मशीनिंग परिशुद्धता, थर्मल प्रबंधन क्षमता और संदूषण प्रतिरोध प्रदर्शन उच्च गुणवत्ता वाले वेफर एपिटैक्सियल विकास को प्राप्त करने में महत्वपूर्ण कारक हैं।

सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स के कार्य

विशेष प्रक्रियाओं के माध्यम से घने सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ उनके मैट्रिक्स के रूप में अल्ट्रा-फाइन ग्रेन, उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से निर्मित, सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स निम्नलिखित कार्य प्रदान करते हैं:

1.सुरक्षित और बासी होल्डिंग

सेमीकोरेक्स 1x2"ग्रेफाइटवेफर ससेप्टर्स में सटीक मशीनिंग और उपचार की सुविधा होती है, जो असाधारण सतह समतलता और आयामी सटीकता प्रदान करता है। यह सुनिश्चित करता है कि वे उपयुक्त स्थिति में मजबूती से सुरक्षित हैं और वेफर एपिटैक्सियल विकास के लिए एक स्थिर, सपाट समर्थन मंच प्रदान करते हैं।

2. परिशुद्धता समान ताप वितरण

ग्रेफाइट और SiC सामग्रियों की उत्कृष्ट तापीय चालकता के साथ, सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स सेमीकंडक्टर पदार्थ में तेजी से और समान गर्मी वितरण प्रदान करते हैं। तापमान प्रवणता को कम करके, सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स असमान एपिटैक्सियल गुणवत्ता और तनाव एकाग्रता जैसे मुद्दों से प्रभावी ढंग से बच सकते हैं।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के फायदे

1. बेहतर संक्षारण प्रतिरोध

घने सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग से ढके, सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स बहुसंख्यक रसायनों के लिए प्रभावी रूप से प्रतिरोधी हैं, जो उन्हें अत्यधिक संक्षारक परिचालन स्थितियों में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाते हैं जहां सामग्री अक्सर संक्षारक गैसों और रासायनिक वाष्पों के संपर्क में आती है।

2. कम कण बहाव

सेमीकोरेक्ससिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगइसमें ग्रेफाइट मैट्रिक्स के साथ उच्च संबंध शक्ति होती है, जो उच्च-संक्षारण वातावरण के कारण होने वाले संक्षारण और कण गिरावट के कारण कोटिंग अलगाव के कारण सब्सट्रेट संदूषण के जोखिम से काफी हद तक बच सकती है।

3.विश्वसनीय सेवा जीवन

यद्यपि ग्रेफाइट मैट्रिक्स उत्कृष्ट तापीय स्थिरता और यांत्रिक शक्ति का प्रदर्शन करता है, यह एपिटैक्सियल प्रक्रिया की परिचालन स्थितियों के तहत संक्षारण और चूर्णीकरण के लिए प्रवण होता है, जो अनकोटेड ग्रेफाइट मैट्रिक्स के जीवनकाल को बहुत छोटा कर देता है। घने SiC कोटिंग्स के साथ ग्रेफाइट मैट्रिक्स को पूरी तरह से एनकैप्सुलेट करके, हमारे 1×2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स बेहतर और विश्वसनीय स्थायित्व प्राप्त करते हैं।

सेमीकोरेक्स SiC कोटिंग का सामग्री डेटा