वेफर धारक

सेमीकोरेक्स वेफर होल्डर को उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने कोर के साथ सरलता से इंजीनियर किया गया है और लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) उपकरण की मांग की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) के साथ सावधानीपूर्वक लेपित किया गया है। सेमीकंडक्टर निर्माण में निहित उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स की अखंडता को बनाए रखने के लिए इसका निर्माण और सामग्री चयन बिल्कुल महत्वपूर्ण है।

SiC-लेपित ग्रेफाइट वेफर होल्डर टूट-फूट के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करता है, जो इष्टतम वेफर हैंडलिंग के लिए आवश्यक सटीक आयाम और सतह की गुणवत्ता को बनाए रखने के लिए एक महत्वपूर्ण विशेषता है। एलपीई प्रक्रियाओं में, वेफर होल्डर की सतह की अखंडता सर्वोपरि है, क्योंकि किसी भी गिरावट या असमानता के परिणामस्वरूप वेफर में दोष हो सकता है, जिससे पैदावार कम हो सकती है और अपशिष्ट बढ़ सकता है। SiC कोटिंग यह सुनिश्चित करती है कि वेफर होल्डर बार-बार चक्रों पर एक चिकनी, स्थिर सतह बनाए रखता है, जो एपिटेक्सी प्रक्रिया की समग्र विश्वसनीयता और स्थिरता में योगदान देता है।

इसके अलावा, SiC कोटिंग वेफर होल्डर के थर्मल प्रदर्शन को बढ़ाती है। सिलिकॉन कार्बाइड की उच्च तापीय चालकता एपिटेक्सी प्रक्रिया के दौरान वेफर में समान गर्मी वितरण सुनिश्चित करती है, जो थर्मल ग्रेडिएंट्स को रोकने के लिए महत्वपूर्ण है जो वेफर्स के विकृत होने या टूटने का कारण बन सकते हैं। यह गारंटी देता है कि अंतिम उत्पाद सेमीकंडक्टर निर्माण में आवश्यक कड़े गुणवत्ता मानकों को पूरा करते हैं। SiC कोटिंग के अतिरिक्त लाभों के साथ ग्रेफाइट के अंतर्निहित थर्मल गुणों का संयोजन एक वेफर होल्डर बनाता है जो सबसे चुनौतीपूर्ण थर्मल वातावरण को समझने में सक्षम है।

वेफर होल्डर का डिज़ाइन एलपीई उपकरण में इसके अनुप्रयोग के लिए अनुकूलित है। वेफर धारक को वेफर्स को सुरक्षित रूप से समायोजित करने के लिए सटीक रूप से मशीनीकृत किया जाता है, जिससे एपिटेक्सी प्रक्रिया के दौरान गति या गलत संरेखण का जोखिम कम हो जाता है। यह परिशुद्धता महत्वपूर्ण है, क्योंकि वेफर स्थिति में थोड़ी सी भी बदलाव से असमान जमाव हो सकता है, जिससे निर्मित होने वाले अर्धचालक उपकरणों का प्रदर्शन प्रभावित हो सकता है। SiC-लेपित ग्रेफाइट वेफर होल्डर आवश्यक स्थिरता प्रदान करता है, यह सुनिश्चित करते हुए कि पूरी प्रक्रिया के दौरान वेफर्स सही स्थिति में रहें।

                                                        एलईपी संरचना, एलपीई से