SiC कोटिंग के साथ ग्रेफाइट सुसेप्टर

SiC कोटिंग के साथ ग्रेफाइट ससेप्टर पर SiC कोटिंग कई उद्देश्यों को पूरा करती है। सबसे पहले, यह उन्नत तापीय स्थिरता प्रदान करता है, जिससे एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं के दौरान तापमान प्रवणता पर सटीक नियंत्रण की अनुमति मिलती है। सेमीकंडक्टर वेफर्स में एक समान और उच्च गुणवत्ता वाली सिलिकॉन परतें प्राप्त करने के लिए यह स्थिरता महत्वपूर्ण है। SiC कोटिंग के साथ ग्रेफाइट ससेप्टर पर SiC कोटिंग रासायनिक संक्षारण और थर्मल शॉक के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है, कठिन प्रक्रिया स्थितियों के तहत भी ससेप्टर की अखंडता की रक्षा करती है। यह स्थायित्व परिचालन जीवनकाल को बढ़ाता है और डाउनटाइम को कम करता है, जो अंततः सेमीकंडक्टर निर्माण सुविधाओं के लिए उच्च उत्पादकता और लागत-प्रभावशीलता में योगदान देता है।

SiC कोटिंग के साथ ग्रेफाइट ससेप्टर का बैरल डिज़ाइन वेफर्स की कुशल लोडिंग और अनलोडिंग की सुविधा प्रदान करता है, जो एपिटेक्सी प्रक्रियाओं में थ्रूपुट को अनुकूलित करता है। इसके अतिरिक्त, SiC कोटिंग के साथ ग्रेफाइट ससेप्टर एक अनुकूलित उत्पाद है, और इसे सेमीकंडक्टर निर्माताओं की विशिष्ट आवश्यकताओं और प्राथमिकताओं को पूरा करने के लिए तैयार किया जा सकता है, जो विभिन्न उपकरण कॉन्फ़िगरेशन और प्रक्रिया मापदंडों के साथ संगतता सुनिश्चित करता है।