ठोस सीवीडी SiC रिंग्स

सेमीकोरेक्स ठोससीवीडी SiCरिंग आमतौर पर प्रक्रिया अवरोधक और ऊर्जा गाइड के रूप में काम करने के लिए इलेक्ट्रोस्टैटिक चक के आसपास, नक़्क़ाशी उपकरण प्रतिक्रिया कक्षों के अंदर लगाए जाते हैं। वे वेफर के चारों ओर कक्ष के भीतर प्लाज्मा को केंद्रित कर सकते हैं और बाहर की ओर प्लाज्मा प्रसार को रोक सकते हैं, इस प्रकार सटीक नक़्क़ाशी प्रक्रिया के लिए एक उपयुक्त ऊर्जा क्षेत्र प्रदान करते हैं। यह समान और स्थिर ऊर्जा क्षेत्र वेफर के किनारे पर असमान ऊर्जा वितरण और प्लाज्मा विरूपण के कारण होने वाले वेफर दोष, प्रक्रिया बहाव और सेमीकंडक्टर डिवाइस उपज हानि जैसे जोखिमों को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है।

उत्कृष्ट सामग्री लाभ

सेमीकोरेक्स सॉलिड सीवीडी सीआईसी रिंग उच्च शुद्धता वाले सीवीडी सीआईसी से निर्मित होते हैं, जो सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी वातावरण में उच्च सफाई और उच्च संक्षारण प्रतिरोध के लिए कठोर आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करने के लिए उत्कृष्ट सामग्री लाभ प्रदान करते हैं।

1. उच्च शुद्धता

सेमीकोरेक्स सॉलिड सीवीडी SiC रिंग्स की शुद्धता 99.9999% से अधिक हो सकती है, जिसका अर्थ है कि रिंग्स आंतरिक अशुद्धियों से लगभग मुक्त हैं। यह असाधारण सामग्री शुद्धता सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के दौरान अशुद्धता रिलीज से सेमीकंडक्टर वेफर्स और प्रक्रिया कक्षों के अवांछित संदूषण से काफी हद तक बचाती है।

2. उच्च संक्षारण प्रतिरोध

सेमीकोरेक्सठोस सीवीडी SiC छल्लेसीवीडी SiC के बेहतर संक्षारण प्रतिरोध के कारण मजबूत एसिड, क्षार और प्लाज्मा के संपर्क में आने पर भी संरचनात्मक अखंडता और प्रदर्शन स्थिरता बनाए रख सकते हैं, जिससे वे कठोर नक़्क़ाशी प्रसंस्करण वातावरण के लिए आदर्श समाधान बन जाते हैं।

3. विश्वसनीय थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन

सीवीडी SiC में उच्च तापीय चालकता और न्यूनतम तापीय विस्तार गुणांक होता है, जिससे सेमीकोरेक्स ठोस CVD SiC रिंग तेजी से गर्मी अपव्यय प्राप्त करते हैं और ऑपरेशन के दौरान उत्कृष्ट आयामी स्थिरता बनाए रखते हैं।

4. असाधारण प्रतिरोध एकरूपता

सेमीकोरेक्स सॉलिड सीवीडी सीआईसी रिंग आरआरजी <5% के साथ असाधारण प्रतिरोध एकरूपता प्रदान करते हैं।

प्रतिरोधकता सीमाएँ: कम रेस। (<0.02 Ω·सेमी), मध्य रेस। (0.2-25 Ω·सेमी), उच्च रिज़ॉल्यूशन। (>100 Ω·सेमी).

सटीक गुणवत्ता नियंत्रण

सेमीकंडक्टर और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स क्षेत्रों की सख्त परिशुद्धता और गुणवत्ता आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करने के लिए सेमीकोरेक्स सॉलिड सीवीडी सीआईसी रिंगों को कठोर मानकों के तहत संसाधित और निरीक्षण किया जाता है।

भूतल उपचार: पॉलिशिंग परिशुद्धता Ra <0.1μm है; बारीक पीसने की परिशुद्धता Ra > 0.1µm है

प्रसंस्करण परिशुद्धता को ≤ 0.03 मिमी के भीतर नियंत्रित किया जाता है

गुणवत्ता निरीक्षण: सेमीकोरेक्स सॉलिड सीवीडी सीआईसी रिंग्स को आयामी माप, प्रतिरोधकता परीक्षण और दृश्य निरीक्षण से गुजरना होगा ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि उत्पाद चिप्स, खरोंच, दरार, दाग और अन्य दोषों से मुक्त है।