सीवीडी एसआईसी लेपित ग्रेफाइट शावर हेड

सेमीकोरेक्स सीवीडी SiC (रासायनिक वाष्प जमाव सिलिकॉन कार्बाइड) लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड एक विशेष घटक है जिसका उपयोग विभिन्न औद्योगिक प्रक्रियाओं, जैसे रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और प्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी) में किया जाता है। यह इन जमाव प्रक्रियाओं के दौरान सब्सट्रेट की सतह पर पूर्ववर्ती गैसों या प्रतिक्रियाशील प्रजातियों को पहुंचाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।

सीवीडी सीआईसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बना है और सीवीडी विधि द्वारा सीआईसी पतली परत के साथ लेपित है। सीवीडी SiC लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड ग्रेफाइट और SiC के लाभकारी गुणों को जोड़ता है, जिससे यह विभिन्न जमाव प्रक्रियाओं में एक आवश्यक घटक बन जाता है जहां उच्च तापमान और रासायनिक वातावरण के प्रतिरोध के साथ-साथ सटीक और समान गैस वितरण की आवश्यकता होती है।

विशेषताएँ:

रासायनिक प्रतिरोध

तापीय स्थिरता

चिकनी और एकसमान सतह

प्रदूषण में कमी