सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग्स

सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंगआमतौर पर नक़्क़ाशी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में स्थापित किए जाते हैं, जो इलेक्ट्रोस्टैटिक चक की वेफर समर्थन सतह के आसपास रखे जाते हैं। यह स्थापना व्यवस्था वेफर किनारे और इलेक्ट्रोड के बीच ऊंचाई के अंतर को सफलतापूर्वक भर सकती है, एकसमान नक़्क़ाशी प्राप्त करने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष में प्लाज्मा को वेफर सतह पर केंद्रित कर सकती है और वेफर किनारे से अधिक नक़्क़ाशी की समस्या से बचने के लिए वेफ़र किनारे से बाहर की ओर प्लाज्मा के प्रसार को भी रोक सकती है।

उच्च गुणवत्ता वाले नक़्क़ाशी घटक नक़्क़ाशी प्रक्रिया के लिए एक स्थिर विद्युत क्षेत्र वातावरण प्रदान कर सकते हैं। सेमीकोरेक्स के सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग उच्च-प्रदर्शन से निर्मित होते हैंसिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीरासायनिक वाष्प जमाव के माध्यम से. हमारे फोकस रिंग वेफर के चारों ओर विद्युत क्षेत्र वितरण को समायोजित करने में सक्षम हैं, जो असमान विद्युत क्षेत्रों के कारण होने वाले नक़्क़ाशी विचलन या निर्वहन घटना को काफी कम करते हैं।

सेमीकंडक्टर वेफर्स आसानी से कण संदूषण के प्रति संवेदनशील होते हैं, इसलिए प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं को अल्ट्रा-क्लीन आयन नक़्क़ाशी प्रतिक्रिया कक्षों में किया जाना चाहिए। नक़्क़ाशी उपकरण के प्राथमिक घटक के रूप में, सिलिकॉन कार्बाइड फ़ोकस रिंग वास्तविक ऑपरेशन में वेफर किनारे के सीधे संपर्क में आते हैं, इसके लिए अति-उच्च स्वच्छता मानकों को पूरा करना भी आवश्यक है। सेमीकोरेक्स के सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग उच्च शुद्धता और कम अशुद्धता सामग्री के लाभ प्रदान करते हैं, जो सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की कठोर सफाई आवश्यकताओं को सटीक रूप से पूरा कर सकते हैं। यह वेफर दोषों को कम करने और वेफर उत्पादन उपज में सुधार करने में बहुत योगदान देता है।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान, फ्लोरीन और ऑक्सीजन जैसी नक़्क़ाशी गैसों को प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है। नक़्क़ाशी उपकरण के रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध को प्रक्रिया गैसों के कारण होने वाले दीर्घकालिक संक्षारण से गंभीर रूप से चुनौती मिलती है। प्लाज्मा संक्षारण के लिए अपनी बेहतर प्रतिरोध संपत्ति के साथ, सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग निर्माण के लिए इष्टतम सामग्री विकल्प है। संक्षारण से संबंधित घटक क्षति की संभावना को कम करके और बार-बार प्रतिस्थापन और रखरखाव की आवश्यकता को कम करके, सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग सेमीकंडक्टर वेफर निर्माण की दक्षता में काफी वृद्धि कर सकते हैं।