एलपीसीवीडी के लिए फर्नेस ट्यूब

एलपीसीवीडी प्रक्रिया एक पतली-फिल्म जमाव प्रक्रिया है जो कम दबाव (आमतौर पर 0.1 से 1 टोर तक) वैक्यूम स्थितियों के तहत की जाती है। ये कम दबाव वाली वैक्यूम ऑपरेटिंग स्थितियां वेफर सतह पर पूर्ववर्ती गैसों के समान प्रसार को बढ़ावा देने में मदद कर सकती हैं, जिससे यह Si₃N₄, पॉली-Si, SiO₂, PSG और टंगस्टन जैसी कुछ धातु फिल्मों सहित सामग्रियों के सटीक जमाव के लिए आदर्श बन जाती है।

फर्नेस ट्यूबएलपीसीवीडी के लिए आवश्यक घटक हैं, जो वेफर एलपीसीवीडी प्रसंस्करण के लिए स्थिर निर्माण कक्षों के रूप में काम करते हैं और उत्कृष्ट फिल्म एकरूपता, असाधारण चरण कवरेज और सेमीकंडक्टर वेफर्स की उच्च फिल्म गुणवत्ता में योगदान करते हैं।

एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब के फायदे

1. विश्वसनीय सीलिंग प्रदर्शन

एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब 3डी प्रिंटिंग तकनीक का उपयोग करके निर्मित किए जाते हैं, जिसमें एक निर्बाध, अभिन्न संरचना होती है। यह कमजोरी-मुक्त अभिन्न संरचना पारंपरिक वेल्डिंग या असेंबली प्रक्रियाओं से जुड़े सीम और रिसाव के जोखिमों से बचती है, जिससे बेहतर प्रक्रिया सीलिंग सुनिश्चित होती है।  एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब विशेष रूप से कम दबाव, उच्च तापमान वाली एलपीसीवीडी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं, जो प्रक्रिया गैस रिसाव और बाहरी वायु घुसपैठ से काफी हद तक बच सकते हैं।

2.उत्कृष्ट तापीय गुण

उच्च गुणवत्ता वाले सेमीकंडक्टर-ग्रेड कच्चे माल से निर्मित, एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध होता है। ये उत्कृष्ट थर्मल गुण एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब को 600 से 1100 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर स्थिर रूप से संचालित करने और उच्च गुणवत्ता वाले वेफर थर्मल प्रसंस्करण के लिए समान तापमान वितरण प्रदान करने में सक्षम बनाते हैं।

3.सख्त सफाई नियंत्रण

सेमीकोरेक्स सामग्री चयन चरण से शुरू होकर भट्ठी ट्यूबों की सफाई को नियंत्रित करता है। उच्च शुद्धता वाले कच्चे माल का उपयोग एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूबों को एक बेजोड़ कम अशुद्धता सामग्री प्रदान करता है। मैट्रिक्स सामग्री का अशुद्धता स्तर 100 पीपीएम से नीचे नियंत्रित किया जाता है और सीवीडी सीआईसी-कोटिंग सामग्री 1 पीपीएम से नीचे रखी जाती है। इसके अतिरिक्त, एलपीसीवीडी प्रक्रिया के दौरान अशुद्धता संदूषण को रोकने के लिए प्रत्येक भट्टी ट्यूब को डिलीवरी से पहले कठोर सफाई निरीक्षण से गुजरना पड़ता है।

4.समान और घनी कोटिंग सुरक्षा

रासायनिक वाष्प जमाव के माध्यम से, एलपीसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स भट्ठी ट्यूबों को घने और समान SiC कोटिंग के साथ मजबूती से कवर किया जाता है। इनसीवीडी SiC कोटिंग्समजबूत आसंजन प्रदर्शित करता है, जो कठोर उच्च तापमान और संक्षारक स्थितियों के संपर्क में आने पर भी कोटिंग के छिलने और घटक क्षरण के जोखिमों को प्रभावी ढंग से रोकता है।