सेमीकोरेक्स के SiC-लेपित ICP घटक को विशेष रूप से एपिटॉक्सी और MOCVD जैसी उच्च-तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। एक बेहतरीन SiC क्रिस्टल कोटिंग के साथ, हमारे वाहक बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते हैं।
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