सेमीकोरेक्स की आईसीपी प्लाज़्मा एचिंग ट्रे को विशेष रूप से एपिटैक्सी और एमओसीवीडी जैसी उच्च-तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए बनाया गया है। 1600 डिग्री सेल्सियस तक के स्थिर, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ, हमारे वाहक थर्मल प्रोफाइल, लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न भी प्रदान करते हैं, और संदूषण या अशुद्धता प्रसार को रोकते हैं।
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