सेमीकोरेक्स के सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर फॉर इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज़्मा (आईसीपी) को विशेष रूप से एपिटैक्सी और एमओसीवीडी जैसी उच्च तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। 1600 डिग्री सेल्सियस तक के एक स्थिर, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ, हमारे वाहक थर्मल प्रोफाइल, लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न भी सुनिश्चित करते हैं, और संदूषण या अशुद्धता प्रसार को रोकते हैं।
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