ICP प्लाज्मा एचिंग सिस्टम के लिए सेमीकोरेक्स का SiC कोटेड कैरियर एपिटैक्सी और MOCVD जैसी उच्च तापमान वाले वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए एक विश्वसनीय और लागत प्रभावी समाधान है। हमारे वाहकों में एक बेहतरीन SiC क्रिस्टल कोटिंग होती है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करती है।
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