सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग के लिए सेमीकोरेक्स ड्यूरेबल फोकस रिंग्स को सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग में इस्तेमाल होने वाले प्लाज्मा ईच चेंबर्स के चरम वातावरण का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारे फोकस रिंग उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने होते हैं, जो घने, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग के साथ लेपित होते हैं। सीआईसी कोटिंग में उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध गुण होते हैं, साथ ही साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता भी होती है। हम अपने फोकस रिंगों के सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं।
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