वेफर एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए पैनकेक ससेप्टर

वेफर एपिटैक्सी एक ऐसी तकनीक है जिसका उपयोग अर्धचालक सब्सट्रेट पर उच्च गुणवत्ता वाली क्रिस्टलीय फिल्मों को विकसित करने के लिए किया जाता है। इसमें सब्सट्रेट को रिएक्टर कक्ष के अंदर रखना और इसे नियंत्रित वातावरण में उजागर करना शामिल है जहां वांछित सामग्री परत दर परत जमा होती है।

वेफर एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए पैनकेक ससेप्टर ग्रेफाइट ससेप्टर का एक गोल आकार होता है, जिसका उपयोग विभिन्न अर्धचालक प्रक्रियाओं, जैसे रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) या भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) में तापमान एकरूपता बढ़ाने और फिल्म विकास को बढ़ावा देने के लिए किया जाता है।