सूखी नक़्क़ाशी में मुख्य पैरामीटर

सूखी नक़्क़ाशी सूक्ष्म-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल प्रणालियों की निर्माण प्रक्रियाओं में एक मुख्य तकनीक है। शुष्क नक़्क़ाशी प्रक्रिया का प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणों की संरचनात्मक सटीकता और परिचालन प्रदर्शन पर सीधा प्रभाव डालता है। नक़्क़ाशी प्रक्रिया को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए, निम्नलिखित मुख्य मूल्यांकन मापदंडों पर पूरा ध्यान दिया जाना चाहिए।

1.ईच रीटे

नक़्क़ाशी दर प्रति इकाई समय (इकाइयाँ: एनएम/मिनट या μm/मिनट) खोदी गई सामग्री की मोटाई को संदर्भित करती है। इसका मूल्य सीधे नक़्क़ाशी दक्षता को प्रभावित करता है, और कम नक़्क़ाशी दर उत्पादन चक्र को लम्बा खींच देगी। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि उपकरण पैरामीटर, सामग्री गुण और नक़्क़ाशी क्षेत्र सभी नक़्क़ाशी दर को प्रभावित करते हैं।

2.चयनात्मकता

सब्सट्रेट चयनात्मकता और मुखौटा चयनात्मकता सूखी नक़्क़ाशी चयनात्मकता के दो प्रकार हैं। आदर्श रूप से, उच्च मास्क चयनात्मकता और कम सब्सट्रेट चयनात्मकता वाली नक़्क़ाशी गैस को चुना जाना चाहिए, लेकिन वास्तव में, भौतिक गुणों पर विचार करके विकल्प को अनुकूलित किया जाना चाहिए।

3. एकरूपता

भीतर-वेफर एकरूपता एक ही वेफर के भीतर विभिन्न स्थानों पर दर स्थिरता है, जिससे अर्धचालक उपकरणों में आयामी विचलन होता है। जबकि वेफर-टू-वेफर एकरूपता विभिन्न वेफर्स के बीच दर स्थिरता को संदर्भित करती है, जो बैच-टू-बैच सटीकता में उतार-चढ़ाव का कारण बन सकती है।

4.महत्वपूर्ण आयाम

महत्वपूर्ण आयाम सूक्ष्म संरचनाओं के ज्यामितीय मापदंडों जैसे लाइन की चौड़ाई, खाई की चौड़ाई और छेद के व्यास को संदर्भित करता है।

5.पहलू अनुपात

पहलू अनुपात, जैसा कि नाम से पता चलता है, नक़्क़ाशी की गहराई और एपर्चर की चौड़ाई का अनुपात है। एमईएमएस में 3डी उपकरणों के लिए पहलू अनुपात संरचनाएं एक मुख्य आवश्यकता हैं, और निचली दर में गिरावट से बचने के लिए गैस अनुपात और पावर नियंत्रण के माध्यम से इसे अनुकूलित किया जाना चाहिए।

6.नक़्क़ाशी क्षति

अधिक नक़्क़ाशी, अंडरकट और साइड नक़्क़ाशी जैसी नक़्क़ाशी क्षति आयामी सटीकता को कम कर सकती है (उदाहरण के लिए, इलेक्ट्रोड रिक्ति विचलन, कैंटिलीवर बीम का संकुचन)।

7.लोडिंग प्रभाव

लोडिंग प्रभाव इस घटना को संदर्भित करता है कि नक़्क़ाशी दर नक़्क़ाशीदार पैटर्न के क्षेत्र और लाइनविड्थ जैसे चर के साथ गैर-रैखिक रूप से बदलती है। दूसरे शब्दों में, अलग-अलग नक्काशीदार क्षेत्र या लाइनविड्थ दर या आकारिकी में अंतर पैदा करेंगे।

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