सिलिकॉन एपिटैक्सी प्रक्रिया क्या है?

सिलिकॉन एपिटैक्सी एकीकृत सर्किट के लिए एक प्राथमिक निर्माण प्रक्रिया है। यह आईसी उपकरणों को भारी डोप की गई दबी हुई परतों के साथ हल्के से डोप किए गए एपिटैक्सियल परतों पर निर्मित करने की अनुमति देता है, साथ ही विकसित पीएन जंक्शन भी बनाता है, जिससे आईसी की अलगाव समस्या का समाधान होता है।सिलिकॉन एपिटैक्सियल वेफर्सअसतत अर्धचालक उपकरणों के निर्माण के लिए भी एक प्राथमिक सामग्री है क्योंकि वे उपकरणों के आगे वोल्टेज ड्रॉप को कम करते हुए पीएन जंक्शनों के उच्च ब्रेकडाउन वोल्टेज को सुनिश्चित कर सकते हैं। सीएमओएस सर्किट बनाने के लिए सिलिकॉन एपिटैक्सियल वेफर्स का उपयोग करने से लैच-अप प्रभाव को दबाया जा सकता है, इसलिए, सीएमओएस उपकरणों में सिलिकॉन एपिटैक्सियल वेफर्स का व्यापक रूप से उपयोग किया जा रहा है।

सिलिकॉन एपिटैक्सी का सिद्धांत

सिलिकॉन एपिटैक्सी आमतौर पर वाष्प चरण एपिटैक्सी भट्ठी का उपयोग करता है। इसका सिद्धांत यह है कि सिलिकॉन स्रोत (जैसे सिलेन, डाइक्लोरोसिलेन, ट्राइक्लोरोसिलेन, और सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड) का अपघटन सिलिकॉन उत्पन्न करने के लिए हाइड्रोजन के साथ प्रतिक्रिया करता है। विकास के दौरान, PH₃ और B₂H₆ जैसी डोपिंग गैसों को एक साथ पेश किया जा सकता है। डोपिंग एकाग्रता को एक विशिष्ट प्रतिरोधकता के साथ एक एपिटैक्सियल परत बनाने के लिए गैस के आंशिक दबाव द्वारा सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है।

उपकरणों के लिए सिलिकॉन एपिटैक्सी के लाभ

1. कम श्रृंखला प्रतिरोध, अलगाव तकनीकों को सरल बनाएं, और सीएमओएस में सिलिकॉन नियंत्रित रेक्टिफायर प्रभाव को कम करें।

2. उच्च (निम्न) प्रतिरोधकता एपिटैक्सियल परतों को कम (उच्च) प्रतिरोधकता सब्सट्रेट पर एपिटैक्सियल रूप से उगाया जा सकता है;

3. एक एन(पी) प्रकार की एपिटैक्सियल परत को सीधे पीएन जंक्शन बनाने के लिए पी(एन) प्रकार के सब्सट्रेट पर उगाया जा सकता है, जिससे प्रसार विधि का उपयोग करके एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर पीएन जंक्शन बनाते समय होने वाली क्षतिपूर्ति समस्या समाप्त हो जाती है।

4. मास्किंग तकनीक के साथ मिलकर, निर्दिष्ट क्षेत्रों में चयनात्मक एपिटैक्सियल विकास किया जा सकता है, जिससे विशेष संरचनाओं के साथ एकीकृत सर्किट और उपकरणों के निर्माण के लिए स्थितियां बन सकती हैं।

5. एपीटैक्सियल विकास प्रक्रिया के दौरान, डोपिंग के प्रकार और एकाग्रता को आवश्यकतानुसार समायोजित किया जा सकता है; एकाग्रता में परिवर्तन अचानक या धीरे-धीरे हो सकता है।

6. एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया के दौरान डोपेंट के प्रकार और एकाग्रता को आवश्यकतानुसार समायोजित किया जा सकता है। एकाग्रता में परिवर्तन अचानक या धीरे-धीरे हो सकता है।

सेमीकोरेक्स प्रदान करता है सी एपिटैक्सियल सीप्रतिद्वंद्वीके लिए आवश्यक है अर्धचालक उपकरण के लिए. यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें।

संपर्क फ़ोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@samicorex.com