सेमीकोरेक्स मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर ग्रेफाइट एपिटैक्सी और वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए आदर्श समाधान है। हमारा अति-शुद्ध उत्पाद न्यूनतम संदूषण और असाधारण दीर्घकालिक प्रदर्शन सुनिश्चित करता है, जिससे यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में एक लोकप्रिय विकल्प बन जाता है। चीन में सेमीकंडक्टर वेफर कैरियर के अग्रणी प्रदाता के रूप में, हम आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
हमारा मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर एक ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्धता वाले SiC से लेपित है, जिसमें उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध है। सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित वाहक का उपयोग उन प्रक्रियाओं में किया जाता है जो अर्धचालक वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत बनाते हैं। इसमें उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण हैं, जो कुशल और सटीक अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक हैं।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर की प्रमुख विशेषताओं में से एक इसका उत्कृष्ट घनत्व है। ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं। एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है, जो उच्च गुणवत्ता वाले वेफर उत्पादन को बनाए रखने के लिए आवश्यक है।
हमारे उत्पाद की एक अन्य महत्वपूर्ण विशेषता ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करने की क्षमता है। यह प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करता है, दरार और प्रदूषण को रोकता है। इसके अतिरिक्त, ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान गर्मी समान रूप से वितरित होती है।
हमारा मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर उच्च तापमान ऑक्सीकरण और संक्षारण के प्रति भी प्रतिरोधी है, जो इसे एक विश्वसनीय और टिकाऊ उत्पाद बनाता है। इसका उच्च गलनांक यह सुनिश्चित करता है कि यह कुशल अर्धचालक निर्माण के लिए आवश्यक उच्च तापमान वाले वातावरण का सामना कर सकता है।
अंत में, सेमीकोरेक्स मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर ग्रेफाइट एपिटेक्सी और वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए एक अति-शुद्ध, टिकाऊ और विश्वसनीय समाधान है। इसका उत्कृष्ट घनत्व, सतह की समतलता और तापीय चालकता इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बनाती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद उपलब्ध कराने में गर्व महसूस करते हैं और आपकी सभी सेमीकंडक्टर वेफर कैरियर आवश्यकताओं के लिए आपके साथ साझेदारी करने के लिए तत्पर हैं।
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर ससेप्टर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें