ग्रेफाइट एपिटॉक्सी और वेफर हैंडलिंग प्रक्रिया के लिए बिल्कुल सही, सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-प्योर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित करता है और असाधारण रूप से लंबा जीवन प्रदर्शन प्रदान करता है। हमारे उत्पादों का अच्छा मूल्य लाभ है और कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक साझेदार बनने की आशा करते हैं।
सेमीकोरेक्स मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर एक ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्ध SiC के साथ लेपित होता है, जिसमें उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है। सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित वाहक उन प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत बनाते हैं, जिसमें उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने के लिए सर्वश्रेष्ठ लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज हमसे संपर्क करें।
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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एसआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।