मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर

सेमीकोरेक्स मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर एक ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्ध SiC के साथ लेपित होता है, जिसमें उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है। सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित वाहक उन प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत बनाते हैं, जिसमें उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
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मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर के पैरामीटर

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।