मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर

ग्रेफाइट एपिटैक्सी और वेफर हैंडलिंग प्रक्रिया के लिए बिल्कुल सही, सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-प्योर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित करता है और असाधारण रूप से लंबे जीवन का प्रदर्शन प्रदान करता है। हमारे उत्पादों की कीमत में अच्छी बढ़त है और ये कई यूरोपीय और अमेरिकी बाज़ारों को कवर करते हैं। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर एक ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्ध SiC के साथ लेपित होता है, जिसमें उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है। सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित वाहक उन प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत बनाते हैं, जिसमें उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
हमारे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-सीवीडी गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	J·kg-1 ·K-1	640
उर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटैक्सियल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।