सीवीडी एसआईसी फोकस रिंग

उन्नत रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया

सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग के निर्माण में नियोजित सीवीडी प्रक्रिया में विशिष्ट आकार में सीआईसी का सटीक जमाव शामिल है, जिसके बाद कठोर यांत्रिक प्रसंस्करण होता है। यह विधि सुनिश्चित करती है कि व्यापक प्रयोग के बाद निर्धारित निश्चित सामग्री अनुपात के कारण सामग्री के प्रतिरोधकता पैरामीटर सुसंगत हैं। परिणाम अद्वितीय शुद्धता और एकरूपता के साथ एक फोकस रिंग है।

सुपीरियर प्लाज्मा प्रतिरोध

सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग की सबसे आकर्षक विशेषताओं में से एक प्लाज्मा के प्रति इसका असाधारण प्रतिरोध है। यह देखते हुए कि फोकस रिंग सीधे वैक्यूम प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर प्लाज्मा के संपर्क में आते हैं, ऐसी कठोर परिस्थितियों को सहन करने में सक्षम सामग्री की आवश्यकता सर्वोपरि है। SiC, 99.9995% के शुद्धता स्तर के साथ, न केवल सिलिकॉन की विद्युत चालकता साझा करता है बल्कि आयनिक नक़्क़ाशी के लिए बेहतर प्रतिरोध भी प्रदान करता है, जो इसे प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श विकल्प बनाता है।

उच्च घनत्व और कम नक़्क़ाशी मात्रा

सिलिकॉन (Si) फोकस रिंगों की तुलना में, CVD SiC फोकस रिंग में उच्च घनत्व होता है, जो नक़्क़ाशी की मात्रा को काफी कम कर देता है। यह गुण फोकस रिंग के जीवनकाल को बढ़ाने और सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया की अखंडता को बनाए रखने में महत्वपूर्ण है। नक़्क़ाशी की मात्रा कम होने से रुकावटें कम होती हैं और रखरखाव की लागत कम होती है, जिससे अंततः उत्पादन क्षमता बढ़ती है।

वाइड बैंडगैप और उत्कृष्ट इन्सुलेशन

SiC का विस्तृत बैंडगैप उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुण प्रदान करता है, जो अवांछित विद्युत धाराओं को नक़्क़ाशी प्रक्रिया में हस्तक्षेप करने से रोकने के लिए आवश्यक है। यह विशेषता सुनिश्चित करती है कि फोकस रिंग सबसे चुनौतीपूर्ण परिस्थितियों में भी लंबे समय तक अपना प्रदर्शन बनाए रखे।

थर्मल चालकता और थर्मल शॉक का प्रतिरोध

सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग उच्च तापीय चालकता और कम विस्तार गुणांक प्रदर्शित करते हैं, जो उन्हें थर्मल झटके के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी बनाते हैं। ये गुण विशेष रूप से तेजी से थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) से जुड़े अनुप्रयोगों में फायदेमंद होते हैं, जहां फोकस रिंग को तीव्र गर्मी दालों का सामना करना पड़ता है जिसके बाद तेजी से शीतलन होता है। ऐसी परिस्थितियों में स्थिर रहने की सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग की क्षमता इसे आधुनिक सेमीकंडक्टर निर्माण में अपरिहार्य बनाती है।

यांत्रिक शक्ति और स्थायित्व

सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग की उच्च लोच और कठोरता यांत्रिक प्रभाव, टूट-फूट और संक्षारण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है। ये विशेषताएँ सुनिश्चित करती हैं कि फोकस रिंग अर्धचालक निर्माण की कठोर माँगों को सहन कर सकती है, समय के साथ अपनी संरचनात्मक अखंडता और प्रदर्शन को बनाए रख सकती है।

विभिन्न उद्योगों में अनुप्रयोग

1. सेमीकंडक्टर विनिर्माण

सेमीकंडक्टर निर्माण के क्षेत्र में, सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण का एक अनिवार्य घटक है, विशेष रूप से कैपेसिटिव युग्मित प्लाज्मा (सीसीपी) सिस्टम का उपयोग करने वाले उपकरणों का। इन प्रणालियों में आवश्यक उच्च प्लाज्मा ऊर्जा सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग के प्लाज्मा प्रतिरोध और स्थायित्व को अमूल्य बनाती है। इसके अतिरिक्त, इसके उत्कृष्ट थर्मल गुण इसे आरटीपी अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाते हैं, जहां तेजी से हीटिंग और शीतलन चक्र आम हैं।

2. एलईडी वेफर कैरियर

सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग एलईडी वेफर कैरियर के उत्पादन में भी अत्यधिक प्रभावी है। सामग्री की थर्मल स्थिरता और रासायनिक संक्षारण के प्रतिरोध से यह सुनिश्चित होता है कि फोकस रिंग एलईडी निर्माण के दौरान मौजूद कठोर परिस्थितियों का सामना कर सकती है। यह विश्वसनीयता उच्च पैदावार और बेहतर गुणवत्ता वाले एलईडी वेफर्स में तब्दील हो जाती है।

3. स्पटरिंग लक्ष्य

स्पटरिंग अनुप्रयोगों में, सीवीडी सीआईसी फोकस रिंग की उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध इसे स्पटरिंग लक्ष्यों के लिए एक आदर्श विकल्प बनाता है। उच्च-ऊर्जा प्रभावों के तहत अपनी संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखने की फोकस रिंग की क्षमता लगातार और विश्वसनीय स्पटरिंग प्रदर्शन सुनिश्चित करती है, जो पतली फिल्मों और कोटिंग्स के उत्पादन में महत्वपूर्ण है।