अर्धरेक्स सिस लिड एक उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड घटक है जो चरम अर्धचालक प्रसंस्करण वातावरण के लिए इंजीनियर है। अर्धविराम का चयन करने का मतलब है कि दुनिया भर में प्रमुख अर्धचालक निर्माताओं द्वारा विश्वसनीय रूप से बेजोड़ सामग्री की गुणवत्ता, प्रेसिजन इंजीनियरिंग और कस्टम समाधान सुनिश्चित करना।****
अर्धविराम sic ढक्कन एक महत्वपूर्ण हिस्सा है जो विशेष रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह एपिटैक्सी, आयन इम्प्लांटिंग और उच्च तापमान अनुप्रयोगों में सबसे कठिन वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह अल्ट्रा-प्यूर सिलिकॉन कार्बाइड से निर्मित होता है जिसमें बेहद स्थिर भौतिक गुण और इंजीनियर सटीकता होती है। लंबी अवधि की स्थिरता, स्थायित्व और स्वच्छता उन्नत अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग के लिए अर्धविराम एसआईसी ढक्कन का चयन करने के प्रमुख कारण हैं।
सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी)गुणों की एक श्रृंखला है जो पारंपरिक सिरेमिक या धातु सामग्री की तुलना में अद्वितीय हैं। SIC के मुख्य लाभों में से एक उच्च तापमान के लिए इसका प्रतिरोध है। SIC अपनी संरचनात्मक अखंडता और यांत्रिक स्थिरता बनाए रख सकता है - लंबे समय तक ऊंचे तापमान पर भी। यह रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) एपिटैक्सी या उच्च-ऊर्जा आयन आरोपण जैसी प्रक्रियाओं के लिए एसआईसी आदर्श बनाता है। धातु और प्लास्टिक अत्यधिक तापमान पर विकृत, ऑक्सीकरण या दूषित होंगे, जबकि एसआईसी अपनी आयामी स्थिरता को बनाए रखेगा और वेफर्स को संसाधित करने के साथ सकारात्मक रूप से बातचीत नहीं करेगा।
रासायनिक प्रतिरोध Sic Lids की एक और विशिष्ट विशेषता है। अर्धचालक में उन वातावरणों को संसाधित करना जो आप संक्षारक गैसों, प्लाज्मा या प्रतिक्रियाशील रसायन के साथ सामना कर सकते हैं, असामान्य नहीं हैं। उन परिदृश्यों में SIC सतह समय के साथ सतह को नीचा दिखाने से उन दूषित पदार्थों का विरोध करने के लिए एक अक्रिय अवरोध प्रदान करेगी, जिसके परिणामस्वरूप लंबे समय तक प्रभावी जीवन होता है। यह दीर्घायु कम रखरखाव की लागत, कम समय के समय कम होने और विस्तारित प्रक्रिया चक्रों में पुनरावृत्ति के बराबर है। ये कारक एसआईसी ढक्कन को फैब्स के लिए एक बेहतर विकल्प बनाते हैं जिन्हें पारंपरिक सामग्रियों की तुलना में निरंतर, उच्च उपज उत्पादन की आवश्यकता होती है।
रासायनिक प्रतिरोध की तरह, सेमीकंडक्टर एप्लिकेशन में शुद्धता भी सर्वोपरि है। ट्रेस संदूषकों की उपस्थिति डिवाइस के प्रदर्शन और उपज पर नकारात्मक प्रभाव डाल सकती है। एसआईसी ढक्कन उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बनाया गया है जो प्रक्रिया के वातावरण में बहने वाली धातु अशुद्धियों की संभावना को बाहर करता है। इसके अलावा, यह जितना संभव हो उतना साफ और स्थिर होने की गारंटी है क्योंकि यह संदूषकों और बाहरी बलों से संबंधित है जो एलआईडी प्रदर्शन को प्रभावित करता है, जो आज के अर्धचालक विनिर्माण आवश्यकताओं को पूरा करने में महत्वपूर्ण है, जहां नैनोमीटर स्तर की वस्तुओं को आयामहीन सटीकता और संदूषकों के नियंत्रण के साथ परिभाषित किया जाना चाहिए। SIC LID प्रदान करने वाला लचीलापन अतिरिक्त मूल्य है। प्रत्येक घटक को आकार, ज्यामिति और सतह खत्म के संबंध में एक विशिष्ट ग्राहक की आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन किया जा सकता है। यह सुनिश्चित करता है कि एलआईडी को आसानी से शामिल किया जा सकता है और विभिन्न उपकरण मॉडल और प्रक्रिया उपकरण के साथ एकीकृत किया जा सकता है।
की मशीनिंग की सटीकतासिकलिड्स आगे Sic Lids के मूल्य में सुधार करता है। सेमीकंडक्टर टूल्स को आयामी संगतता और सतह एकरूपता में बड़े उतार -चढ़ाव के कारण उच्चतम यांत्रिक परिशुद्धता की आवश्यकता होती है, यहां तक कि एकरूपता और सामग्री की मोटाई में मामूली भिन्नता भी एक उपकरण की प्रक्रिया की संगति, थ्रूपुट और उत्पाद की गुणवत्ता से गंभीर रूप से समझौता कर सकती है। सामग्री प्रसंस्करण में उन्नत प्रौद्योगिकियों के माध्यम से, एसआईसी लिड्स में एक सपाटता, सतह एकरूपता और सहिष्णुता होती है जो पारंपरिक उद्योग मानकों से अधिक होती है, यांत्रिक सीलिंग सतह मोटाई ओ एफ की पेशकश करती है, आमतौर पर, हजारों/हजारों इंच (टीआईआर)। उच्च सपाटता एक यांत्रिक फिट को सील करने की अनुमति देती है और साथ ही उत्पादन प्रक्रिया में स्थितियों का अनुभव करने के लिए प्रयोगशाला-ग्रेड सीमाओं के लिए आश्वासन को दोहराया जा सकता है। यह विशेष रूप से उच्च मात्रा वाले फैब्स में स्पष्ट है जहां अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन के लिए स्थितियों की पुनरावृत्ति पर जोर महत्वपूर्ण है। जब आप प्रिसिजन इंजीनियरिंग का पीछा करते हैं तो यह सीधे अनुकूलन के लिए बोलता है। जब Sic Lids विशिष्ट व्यावहारिक उपयोग में होते हैं, उदाहरण के लिए, एपिटैक्सी में, जहां Sic ढक्कन रिएक्टर में प्राप्त करने के लिए थर्मल और रासायनिक रूप से स्थिर बैठता है, या एक आयन आरोपण प्रणाली में, जो कि एक उच्च शक्ति वाली बीम से बाहर निकलने वाले ऊर्जावान कणों का विरोध करता है, जो कि उनके यांत्रिक विन्यासों को हिट कर रहे थे, जो कि उनके यांत्रिक विन्यासों को रोकते हैं, जो कि उनके यांत्रिक विन्यासों को रोकते हैं, जो कि निरंतर Sic Lids को ठोस-राज्य अर्धचालक उत्पादन में पर्यायवाची होना चाहिए।
अर्धरेक्स सिस लिड सामग्री विज्ञान और सामग्री इंजीनियरिंग दोनों का सबसे अच्छा प्रतिनिधित्व करता है, और अर्धचालक वातावरण में सबसे अच्छा प्रदर्शन संभव प्रदान करता है, उनके उच्च तापमान सहिष्णुता, रासायनिक प्रतिरोध, आदर्श शुद्धता, कस्टम फैब्रिकेशन, सटीक मशीनिंग कार्य, एसआईसी ढक्कन प्रदर्शन करेगा।