सेमीकंडक्टर के लिए सिरेमिक फोकस रिंग

सेमीकोरेक्स सिरेमिकफोकस रिंगसेमीकंडक्टर के लिए एस कठोर प्लाज्मा नक़्क़ाशी परिचालन स्थितियों के लिए तैयार किए गए आदर्श समाधान हैं। परिष्कृत अर्धचालक नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान, प्लाज्मा वितरण को सटीक रूप से नियंत्रित करना महत्वपूर्ण है, जो नक़्क़ाशी कक्ष स्थिरता और सुसंगत अर्धचालक नक़्क़ाशी एकरूपता सुनिश्चित कर सकता है। उन्नत नक़्क़ाशी उपकरण में उपयोग किए जाने वाले अपरिहार्य घटकों के रूप में, फ़ोकस रिंग आमतौर पर अर्धचालक वेफर्स के चारों ओर स्थित होते हैं और उनके सीधे संपर्क में आते हैं। फोकस रिंगों का प्रदर्शन प्रक्रिया की पुनरावृत्ति, उत्पाद उपज और उपकरण अपटाइम पर सीधा प्रभाव डालता है।

सेमीकंडक्टर के लिए सेमीकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग के लाभ

1. अति उच्च सामग्री शुद्धता

हमारी पवित्रतासीवीडी SiCसामग्री 99.9995% से अधिक है। यह अपर्याप्त सामग्री शुद्धता के कारण नक़्क़ाशी कक्ष और अर्धचालक वेफर्स के संदूषण को प्रभावी ढंग से रोक सकता है।

2.असाधारण संक्षारण प्रतिरोध

सेमीकंडक्टर के लिए सेमीकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग सीवीडी SiC से बने होते हैं, जिसमें ऑक्सीकरण, क्षरण और रासायनिक संक्षारण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध होता है, जो एचएफ और एचसीआई जैसे प्रक्रिया गैसों के साथ-साथ प्लाज्मा गैस के खिलाफ विशेष रूप से प्रभावी होता है।

3.सुपीरियर प्रतिरोध प्रदर्शन

सेमीकंडक्टर के लिए सेमीकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग की प्रतिरोध एकरूपता 5% से कम है।

प्रतिरोधकता सीमाएँ: कम रेस। (<0.02 Ω·सेमी), मध्य रेस। (0.2-25 Ω·सेमी), उच्च रिज़ॉल्यूशन। (>100 Ω·सेमी).

सेमीकंडक्टर के लिए सेमीकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग के कार्य

1. किनारे के विद्युत क्षेत्र और प्लाज्मा वितरण को नियंत्रित और एकरूप बनाना

सेमीकंडक्टर के लिए सेमीकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग नक़्क़ाशी कक्ष के अंदर विद्युत क्षेत्र के वितरण को नियंत्रित कर सकते हैं और सेमीकंडक्टर वेफर्स के चारों ओर एक अधिक समान प्लाज्मा शीथ प्राप्त कर सकते हैं, जिससे प्लाज्मा को ऊर्ध्वाधर और समान तरीके से वेफर सतह पर टकराने में सक्षम बनाया जा सकता है। इस तरह, नक़्क़ाशी के किनारे के प्रभाव को काफी कम किया जा सकता है और नक़्क़ाशी की सटीकता में काफी सुधार किया जा सकता है।

2. इलेक्ट्रोस्टैटिक चक को सुरक्षित रखें

नक़्क़ाशी प्रक्रिया में फोकस रिंगों की सुरक्षा के बिना, इलेक्ट्रोस्टैटिक चक उच्च-ऊर्जा प्लाज्मा की बमबारी और क्षरण के संपर्क में आ जाएगा। इलेक्ट्रोस्टैटिक चक अत्यधिक उच्च प्रतिस्थापन व्यय के साथ उच्च लागत वाली सामग्रियों से बने होते हैं। फोकस रिंगों का उपयोग इलेक्ट्रोस्टैटिक चक पर प्लाज्मा संक्षारण को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है और इलेक्ट्रोस्टैटिक चक के रखरखाव और प्रतिस्थापन लागत को कम कर सकता है।