SiC पैडल

सेमीकोरेक्स SiC पैडल वेफर "वाहक" हैं, जो वेफर्स को 1000 डिग्री सेल्सियस से अधिक गर्म भट्टियों में ले जाते हैं। यह उनका मुख्य लाभ है: अत्यधिक शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता, चरम वातावरण में नमूना परिवहन करते समय यांत्रिक कठोरता बनाए रखना। उच्च शुद्धता वाली सामग्री धातु की अशुद्धियों को वेफर को दूषित करने से रोकने के लिए प्रभावी होती है; इसी प्रकार उच्च तापमान स्थिरता भी हैसिलिकन कार्बाइड, क्योंकि यह प्रसंस्करण तापमान पर रासायनिक स्थिरता बनाए रखेगा जो धातु की अशुद्धियों या कणों को वेफर को दूषित करने से रोकता है, जिससे एक स्थिर वेफर उपज सुनिश्चित होती है। अंततः,ब्रैकट चप्पूएकीकृत वेफर ट्रांसफर सिस्टम के साथ भी संगत हैं, जिससे मनुष्यों पर निर्भरता कम हो जाती है और थ्रूपुट बढ़ जाता है।

SiC पैडल वाहक के अद्वितीय घटक हैं, विशेष रूप से उच्च तापमान ऑक्सीकरण और प्रसार जैसी प्रक्रियाओं में बैच वर्कलोड में सेमीकंडक्टर वेफर के परिवहन और एकीकरण के लिए। उच्च शुद्धता के साथ बनाया गयासिलिकॉन कार्बाइड (SiC), SiC पैडल 1000 डिग्री सेल्सियस के तापमान से ऊपर स्थिर परिवहन सुनिश्चित करने के लिए थर्मल स्थिरता, यांत्रिक शक्ति और रासायनिक स्थायित्व प्रदान करते हैं। वेफर प्रसंस्करण के लिए SiC पैडल्स की आवश्यकता होती है: यह सुनिश्चित करेगा कि ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग प्रक्रिया के दौरान अखंडता और स्थिरता बनाए रखते हुए नाजुक सब्सट्रेट्स को उचित रूप से संभाला जा सके।

मजबूत और विश्वसनीय होने के लिए डिज़ाइन किया गया, SiC पैडल कैंटिलीवर-प्रकार की भुजा है जो वेफर नौकाओं या वेफर स्टैक को रखती है। पैडल वेफर्स को तब सहारा देता है जब उन्हें प्रक्रिया कक्ष से डाला या हटाया जाता है। पारंपरिक सामग्रियां इन उच्च तापमानों पर विकृति, विकृति या रासायनिक गिरावट के कारण विफल हो जाती हैं। सिलिकॉन कार्बाइड की यांत्रिक स्थिरता और संरचनात्मक अखंडता पैडल को आकार या कार्य के नुकसान के बिना कई थर्मल चक्रों में जीवित रहने की अनुमति देती है। यह क्षमता भट्ठी के संरेखण को बनाए रखने, यह सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है कि प्रक्रिया के दौरान वेफर्स क्षतिग्रस्त न हों, और महंगे डाउनटाइम को कम करें।

मजबूत और विश्वसनीय होने के लिए डिज़ाइन किया गया, SiC पैडल कैंटिलीवर-प्रकार की भुजा है जो वेफर नौकाओं या वेफर स्टैक को रखती है। पैडल वेफर्स को तब सहारा देता है जब उन्हें प्रक्रिया कक्ष से डाला या हटाया जाता है। पारंपरिक सामग्रियां इन उच्च तापमानों पर विकृति, विकृति या रासायनिक गिरावट के कारण विफल हो जाती हैं। सिलिकॉन कार्बाइड की यांत्रिक स्थिरता और संरचनात्मक अखंडता पैडल को आकार या कार्य के नुकसान के बिना कई थर्मल चक्रों में जीवित रहने की अनुमति देती है। यह क्षमता भट्ठी के संरेखण को बनाए रखने, यह सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है कि प्रक्रिया के दौरान वेफर्स क्षतिग्रस्त न हों, और महंगे डाउनटाइम को कम करें।

SiC पैडल से जुड़ी यांत्रिक अखंडता भी हैंडलिंग प्रक्रियाओं में मूल्य प्रदान करती है। कैंटिलीवर संरचनात्मक रूप के लिए ऐसी सामग्री की आवश्यकता होती है जो परत के ढेर का भार संभाल सके और झुके या शिथिल न हो। सिलिकॉन कार्बाइड का बहुत उच्च मापांक और बहुत अधिक कठोरता इसे आवश्यक यांत्रिक संरचनात्मक कार्य के लिए एक अच्छा विचार बनाती है। SiC पैडल वेफर्स से भरे होने पर भी समतलता और संरचना दोनों को बरकरार रखता है। इसका मतलब है लंबी उत्पादन अवधि के दौरान भट्ठी और उसकी स्थितियों का निरंतर नियंत्रण।