TaC लेपित ट्यूब

सेमीकोरेक्स टीएसी कोटेड ट्यूब की शक्ति आधार सामग्री और विशेष कोटिंग के सहक्रियात्मक संयोजन में निहित है:

उच्च शुद्धता आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट फाउंडेशन:TaC कोटेड ट्यूब का कोर अल्ट्रा-उच्च शुद्धता वाले आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट से बना है, जो अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, कम तापीय विस्तार और थर्मल शॉक के अंतर्निहित प्रतिरोध के लिए प्रसिद्ध है। यह फाउंडेशन एक मजबूत और स्थिर मंच प्रदान करता है जो तेजी से तापमान में उतार-चढ़ाव और सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण की विशेषता वाले उच्च तापीय भार को झेलने में सक्षम है।

टैंटलम कार्बाइड---स्थायित्व और जड़ता की ढाल:सीवीडी-लागू टीएसी कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट को बदल देती है, असाधारण कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता प्रदान करती है। यह सुरक्षात्मक परत अर्धचालक निर्माण के दौरान सामने आने वाली आक्रामक गैसों, प्लाज़्मा और प्रतिक्रियाशील प्रजातियों के खिलाफ एक बाधा के रूप में कार्य करती है, जो ट्यूब की संरचनात्मक अखंडता और दीर्घायु सुनिश्चित करती है।

यह अद्वितीय सामग्री संयोजन उन लाभों की एक श्रृंखला में तब्दील हो जाता है जो उन्नत अर्धचालक विनिर्माण के लिए महत्वपूर्ण हैं:

बेजोड़ तापमान प्रतिरोध:TaC सभी ज्ञात सामग्रियों के उच्चतम गलनांकों में से एक का दावा करता है, यहां तक ​​कि सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) को भी पीछे छोड़ देता है। यह अत्यधिक तापमान प्रतिरोध TaC लेपित ट्यूब को 2500 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान की आवश्यकता वाली प्रक्रियाओं में विश्वसनीय रूप से संचालित करने की अनुमति देता है, जिससे मांग वाले थर्मल बजट के साथ अगली पीढ़ी के अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन सक्षम हो जाता है।

महत्वपूर्ण प्रक्रिया नियंत्रण के लिए अति-उच्च शुद्धता:सेमीकंडक्टर निर्माण में प्राचीन प्रक्रिया वातावरण को बनाए रखना सर्वोपरि है। उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट का उपयोग और सावधानीपूर्वक सीवीडी कोटिंग प्रक्रिया टीएसी कोटेड ट्यूब से न्यूनतम आउटगैसिंग या कण उत्पादन सुनिश्चित करती है, जिससे संदूषण को रोका जा सकता है जो संवेदनशील वेफर सतहों और डिवाइस के प्रदर्शन से समझौता कर सकता है।

अटूट रासायनिक प्रतिरोध:TaC लेपित ट्यूब की रासायनिक जड़ता संक्षारक गैसों, प्रतिक्रियाशील आयनों और प्लाज्मा वातावरण की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करती है जो आमतौर पर नक़्क़ाशी, जमाव और एनीलिंग जैसी अर्धचालक प्रक्रियाओं में उपयोग की जाती है। यह मजबूत रासायनिक स्थिरता ट्यूब के जीवनकाल को बढ़ाती है, रखरखाव की आवश्यकताओं को कम करती है, और स्वामित्व की कुल लागत को कम करती है।

विस्तारित सेवा जीवन के लिए उन्नत यांत्रिक स्थायित्व:TaC कोटिंग और ग्रेफाइट सब्सट्रेट के बीच मजबूत संबंध बल, TaC लेपित ट्यूब की अंतर्निहित कठोरता के साथ मिलकर, पहनने, क्षरण और यांत्रिक तनाव के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करता है। यह उन्नत स्थायित्व लंबे समय तक सेवा जीवन और प्रतिस्थापन के लिए डाउनटाइम को कम करता है, प्रक्रिया दक्षता और थ्रूपुट में सुधार करता है।