TaC-लेपित सील की अंगूठी

सेमीकोरेक्स टीएसी-लेपित सील रिंग अर्धचालक प्रक्रियाओं में नियोजित संक्षारक गैसों और रसायनों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए उत्कृष्ट निष्क्रियता प्रदर्शित करती है, जिसमें प्लाज्मा ईच रसायन (जैसे, फ्लोरीन, क्लोरीन, ब्रोमीन), डोपेंट (जैसे, बोरान, फास्फोरस, आर्सेनिक), और आक्रामक शामिल हैं। सफाई एजेंट. यह जड़ता सील के क्षरण और संवेदनशील प्रक्रिया कक्षों के संदूषण को रोकती है।

और 3800 डिग्री सेल्सियस से अधिक के पिघलने बिंदु के साथ, टीएसी-लेपित सील रिंग वेफर प्रसंस्करण के दौरान आने वाले ऊंचे तापमान पर अपनी संरचनात्मक अखंडता और यांत्रिक शक्ति बनाए रखती है। यह उच्च तापमान एनीलिंग, जमाव और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के दौरान विश्वसनीय सीलिंग प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।

TaC-लेपित सील रिंग की अत्यधिक कठोरता और कम घर्षण गुणांक पहनने, खरोंचने और घर्षण के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करते हैं। यह गतिशील सीलिंग अनुप्रयोगों में महत्वपूर्ण है जहां बार-बार गति या वेफर्स और अन्य घटकों के साथ संपर्क से कण उत्पन्न हो सकता है और सील विफलता हो सकती है।

टीएसी-लेपित सील रिंग ऊंचे तापमान पर भी बहुत कम गैस उत्सर्जन दर प्रदर्शित करती है, जो उन्हें उच्च-वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाती है। यह प्रक्रिया की शुद्धता सुनिश्चित करता है और संवेदनशील वेफर सतहों पर अवांछित संदूषकों के जमाव को रोकता है।

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में विशिष्ट लाभ:

विस्तारित सील जीवनकाल:TaC-लेपित सील रिंग रासायनिक हमले, थर्मल गिरावट और यांत्रिक टूट-फूट के लिए बेहतर प्रतिरोध प्रदान करके सील जीवनकाल को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाती है। इससे सील प्रतिस्थापन की आवृत्ति कम हो जाती है, डाउनटाइम और रखरखाव लागत कम हो जाती है।

बेहतर प्रक्रिया उपज और वेफर गुणवत्ता:TaC-लेपित सील रिंग की निष्क्रिय प्रकृति कण उत्पादन और संदूषण को कम करती है, जिससे उच्च प्रक्रिया उपज और वेफर गुणवत्ता में सुधार होता है। यह कठोर दोष सहनशीलता वाले उच्च-प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है।

उन्नत उपकरण अपटाइम और उत्पादकता:लंबे समय तक सील जीवनकाल और कम रखरखाव आवश्यकताओं से उपकरण अपटाइम और समग्र उत्पादकता में वृद्धि होती है। यह उत्पादन को अधिकतम करने और उच्च मात्रा वाले अर्धचालक विनिर्माण की मांगों को पूरा करने के लिए महत्वपूर्ण है।