अर्धविराम क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक एक उच्च-शुद्धता वाले कंटेनर है जिसे अर्धचालक गीली सफाई और कोटिंग प्रक्रियाओं में कचरे और अवशिष्ट तरल पदार्थों को इकट्ठा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। अर्धविराम का चयन न केवल बेहतर क्वार्ट्ज सामग्री की गुणवत्ता को सुनिश्चित करता है, बल्कि सटीक निर्माण भी है जो क्लीनरूम वातावरण की मांग में न्यूनतम संदूषण और अधिकतम विश्वसनीयता की गारंटी देता है।*
अर्धविराम क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक सेमीकंडक्टर वेट क्लीन एप्लिकेशन के लिए एक उद्देश्य-निर्मित कंटेनर है जहां तरल हैंडलिंग के लिए स्वच्छता और सामग्री की स्थिरता के एक असाधारण स्तर की आवश्यकता होती है। मुख्य रूप से, इस टैंक का उपयोग वेफर सफाई अनुप्रयोगों से कचरे या अवशिष्ट तरल पदार्थों को इकट्ठा करने के लिए किया जाता है। यह प्रक्रिया उत्पादकता और संदूषण नियंत्रण के लिए अमूल्य है। एक गीली स्वच्छ प्रक्रिया के दौरान, सेमीकंडक्टर वेफर रिंसिंग में अल्ट्रापुर पानी या रासायनिक अभिकर्मकों के बड़े संस्करण शामिल होते हैं जो रिंसिंग के अंत में अपशिष्ट तरल बन जाते हैं। इसके अतिरिक्त, rinsing के बाद अवशिष्ट तरल को एकत्र किया जाना चाहिए क्योंकि इसमें संभावित ट्रेस अशुद्धियां, या मूल्यवान रासायनिक घटक हैं जो नाली से नीचे नहीं जाना चाहिए। अपशिष्ट तरल भी एकत्र किया जाना चाहिए जब कोटिंग चरणों का प्रदर्शन किया जाता है जैसे कि फोटोरिसिस्ट एप्लिकेशन, जहां अतिरिक्त अवशेष या अपशिष्ट रसायन एकत्र किया जाना है। इस प्रकार, क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक में उच्च शुद्धता, रासायनिक संगतता और कम दूषित गुण प्रदान करने के लिए सही डिलिवरेबल्स हैं।
टैंक उच्च शुद्धता वाले फ्यूज्ड क्वार्ट्ज से बना है जो कि सेमीकंडक्टर सफाई और लिथोग्राफी में नियमित रूप से उपयोग किए जाने वाले मजबूत एसिड, अल्कलिस और सॉल्वैंट्स के लिए बहुत प्रतिरोधी है। चाहे एक पारंपरिक कंटेनर, क्वार्ट्ज टुकड़ों को तरल सामग्री को बिना किसी द्वितीयक दूषित जोखिम, लीचिंग या अवांछित आयन एक्सपोज़र का सबसे अच्छा मौका देता है। क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक के प्रमुख पहलुओं में से एक सेमीकंडक्टर फैब्स में विश्लेषणात्मक वर्कफ़्लो का समर्थन करने की क्षमता है, क्योंकि एक क्वार्ट्ज पोत में एकत्र किए गए अवशिष्ट तरल पदार्थों का उपयोग डाउनस्ट्रीम प्रक्रियाओं में किया जा सकता है जैसे कि अशुद्धता का पता लगाने, संदूषण विश्लेषण और रासायनिक रीसाइक्लिंग। क्वार्ट्ज के गुणों के लिए अंतर्निहित, यह सुरक्षित रूप से अवशिष्ट तरल पदार्थों को शामिल कर सकता है और अपनी थर्मल स्थिरता के अलावा, इसकी निष्क्रियता और पारदर्शिता के जोखिम के बिना दृश्य मूल्यांकन के लिए अनुमति दे सकता है, जो टैंक में किसी भी तरल पदार्थ को किसी भी प्रक्रिया के तापमान में गिरावट या द्रव को प्रभावित करने के बिना हल्के से तेज करने की अनुमति देता है। उस ने कहा, क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक को अपशिष्ट संग्रह और अल्पकालिक भंडारण दोनों के लिए डिज़ाइन किया गया है, इससे पहले कि वे स्थानांतरित या इलाज किए जाएं।
प्रक्रिया संदूषण नियंत्रण के प्रत्येक विवरण, विशेष रूप से उन्नत डिवाइस विनिर्माण नोड्स सिकुड़ते हैं और स्वच्छता पैरामीटर अधिक कठोर हो जाते हैं। क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक गारंटी देता है कि फैब ऑपरेटरों को विश्वास है कि अपशिष्ट प्रबंधन माध्यमिक संदूषण का स्रोत नहीं बनता है। अवशिष्ट सफाई समाधान या अतिरिक्त प्रक्रिया तरल पदार्थों से युक्त, यह अपस्ट्रीम और डाउनस्ट्रीम वर्कफ़्लोज़ को वैध रूप से प्रभावित होने से रोकता है। इसके अलावा, टैंक एफएबी के स्थिरता लक्ष्यों का समर्थन करता है, क्योंकि एकत्र किए गए तरल पदार्थों को अभिकर्मक शोधन और पुन: उपयोग के लिए संसाधित किया जा सकता है, इस प्रकार एक और कम रासायनिक-गहन प्रक्रिया का उपयोग किया जा सकता है और जिसके परिणामस्वरूप कुल मिलाकर कम पर्यावरणीय भार होता है।
एक व्यावहारिक दृष्टिकोण से, क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक का डिज़ाइन इसे आसानी से गीले सफाई हार्डवेयर और रासायनिक प्रबंधन प्रणालियों में शामिल करने की अनुमति देता है। फॉर्म फैक्टर को मौजूदा टूल कॉन्फ़िगरेशन के अनुरूप बनाया जा सकता है। सटीक निर्माण के तरीके गोल आयामों को सुनिश्चित करते हैं, और यह कि चिकनी आंतरिक सतह आसानी से आपके अर्धचालक फैब वातावरण में सभी तरल पदार्थों को परिवहन और संग्रहीत करेगी। एक गैर-झरझरा क्वार्ट्ज संरचना दूषित पदार्थों के अवशोषण को रोक देगी, और टैंक की सफाई की अनुमति देगी, जिससे यह महत्वपूर्ण मात्रा संचालन में रासायनिक नियंत्रित वातावरण में काम करने वाले पारंपरिक प्लास्टिक कंटेनरों के विपरीत, फिर से उपयोग के लिए सक्षम हो जाएगा।
नीचे की रेखा, क्वार्ट्ज लिक्विड स्टोरेज टैंक को विशेष रूप से सेमीकंडक्टर वेट क्लीनिंग और कोटिंग एप्लिकेशन में महत्व के लिए डिज़ाइन किया गया है। एक अर्धचालक परिचालन सुविधा में सर्वोत्तम संभव सामग्री शुद्धता, रासायनिक प्रतिरोध और संदूषण मुक्त तरल भंडारण का निर्माण करके, FABS अपनी प्रक्रिया को प्रभावी ढंग से संदूषण की कोई खोज के साथ प्रभावी ढंग से नियंत्रित करने में सक्षम हैं। चाहे एक फैब टैंक का उपयोग प्रत्यक्ष अपशिष्ट संग्रह प्राप्त करने के लिए कर रहा है, अभिकर्मक की वसूली के लिए, आदि, या अशुद्धता विश्लेषण के लिए, प्रक्रिया में महत्वपूर्ण चरणों का इतिहास संचालन से समझौता किए बिना मूल स्थिति में रहता है। जब आप उपज को अधिकतम करने के लिए देख रहे हैं, तो स्थिरता के नुकसान के लिए अपनी कार्य प्रक्रिया के लिए जोखिम को कम करें, और बायप्रोडक्ट्स के रासायनिक प्रबंधन की दक्षता को अधिकतम करें, संदूषण मुक्त क्वार्ट्ज एकमात्र विकल्प है जो आपके सभी गीले सफाई के साथ विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करता है।