क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

सेमीकोरेक्स क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, वेफर बोट, सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए क्वार्ट्ज क्रूसिबल सभी उच्च शुद्धता से बने होते हैंक्वार्ट्ज मटेरियाएल अर्धचालक उद्योग में क्वार्ट्ज का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज वेफर निर्माण में महत्वपूर्ण उपभोज्य है। सेमीकंडक्टर क्षेत्र में क्वार्ट्ज भागों का मुख्य लक्ष्य बाजार वेफर निर्माण में प्रसार और नक़्क़ाशी प्रक्रिया है, इसे दो मुख्य श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है: उच्च तापमान वाले हिस्से और कम तापमान वाले हिस्से।

1. उच्च तापमान वाले हिस्से क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, वेफर बोट, बोट होल्डर आदि हैं। इन्हें उच्च तापमान वाले वातावरण में सिलिकॉन वेफर के साथ प्रत्यक्ष या अप्रत्यक्ष रूप से संपर्क करने की आवश्यकता होती है, ये मुख्य रूप से फ्यूज्ड क्वार्ट्ज ग्लास सामग्री से बने होते हैं, जो थर्मल प्रसंस्करण के माध्यम से उत्पादित होते हैं।

2. कम तापमान वाले हिस्से नक़्क़ाशी प्रक्रिया में क्वार्ट्ज रिंग होते हैं, और सफाई प्रक्रिया में कैसेट, सफाई टैंक शामिल होते हैं। इनका उपयोग मुख्य रूप से कम तापमान वाले वातावरण में किया जाता है, जो मुख्य रूप से ठंडे प्रसंस्करण के माध्यम से उत्पादित फ्यूज्ड क्वार्ट्ज ग्लास से बने होते हैं।

उच्च-तापमान क्षेत्र में घटकों का उपभोग अधिक तेजी से किया जाता है, लेकिन उनका उपयोग आमतौर पर मल्टी-वेफर सिस्टम (एक वाहक कई सिलिकॉन वेफर रखने वाला) में किया जाता है, जबकि निम्न-तापमान क्षेत्र में घटकों का उपभोग अधिक धीरे-धीरे किया जाता है, लेकिन उनका उपयोग एकल-वेफर सिस्टम (एक वाहक एक सिलिकॉन वेफर रखने वाला) में किया जाता है; इसलिए, दोनों के लिए समग्र बाज़ार का आकार अपेक्षाकृत समान है।

भट्ठी वह क्षेत्र है जिसमें वेफर्स उच्च तापमान हीटिंग प्रक्रिया से गुजरते हैं, जिसमें क्वार्ट्ज भट्ठी ट्यूब, रिएक्टर और कई हीटर शामिल होते हैं, इसे अर्धचालक प्रसंस्करण में प्रसार, ऑक्सीकरण, आरटीपी प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। भट्ठी को मुख्य रूप से क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर प्रकारों में विभाजित किया गया है: एक क्षैतिज भट्ठी में, वेफर्स को एक क्वार्ट्ज नाव पर रखा जाता है, जिसे बदले में एक SiC वाहक पर रखा जाता है। आगे और पीछे अनुकूली बाफ़ल भी हैं। वाहक को क्वार्ट्ज भट्ठी ट्यूब में धकेल दिया जाता है, और वेफर्स एक स्थिर तापमान क्षेत्र में प्रतिक्रिया से गुजरते हैं। एक ऊर्ध्वाधर भट्ठी में, वेफर्स को एक क्वार्ट्ज टॉवर पर रखा जाता है और फिर धीरे-धीरे प्रसंस्करण के लिए क्वार्ट्ज भट्ठी ट्यूब में उठाया जाता है।

उपरोक्त प्रक्रियाओं में शामिल उच्च तापमान के कारण, बार-बार और लंबे समय तक उपयोग के बाद क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब के गंभीर विरूपण और पतन को रोकने के लिए, एक क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब जो विरूपण और पतन के लिए प्रतिरोधी है और एक लंबी सेवा जीवन है, उत्पादन के दौरान उपयोग किया जाना चाहिए।

यहाँ के फायदे हैंक्वार्ट्जफर्नेस ट्यूब:

1. उच्च तापमान प्रतिरोध। क्वार्ट्ज ग्लास का नरमी बिंदु लगभग 1730℃ होता है और इसे 1150℃ पर विस्तारित अवधि के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है, अल्पकालिक अधिकतम तापमान 1450℃ तक पहुंच सकता है।

एल अर्धचालक उद्योग में क्वार्ट्ज का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज वेफर निर्माण में महत्वपूर्ण उपभोज्य है। सेमीकंडक्टर क्षेत्र में क्वार्ट्ज भागों का मुख्य लक्ष्य बाजार वेफर निर्माण में प्रसार और नक़्क़ाशी प्रक्रिया है, इसे दो मुख्य श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है: उच्च तापमान वाले हिस्से और कम तापमान वाले हिस्से।

3. अच्छी तापीय स्थिरता। उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज में थर्मल विस्तार का गुणांक बेहद कम होता है और यह भारी तापमान परिवर्तन का सामना कर सकता है।  उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज को लगभग 1100℃ तक गर्म करने और फिर इसे कमरे के तापमान के पानी में डुबोने से यह टूटेगा नहीं।

4. अच्छा प्रकाश संचरण प्रदर्शन। उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज में पराबैंगनी से अवरक्त तक पूरे स्पेक्ट्रम में अच्छा प्रकाश संचरण प्रदर्शन होता है। दृश्य प्रकाश संप्रेषण 93% से ऊपर है, और पराबैंगनी स्पेक्ट्रम में, अधिकतम संप्रेषण 80% से अधिक तक पहुँच सकता है।

5. अच्छा विद्युत इन्सुलेशन प्रदर्शन। उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज की प्रतिरोधकता सामान्य क्वार्ट्ज ग्लास की तुलना में दस हजार गुना है, जो इसे एक उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन सामग्री बनाती है, जिसमें उच्च तापमान पर भी अच्छे विद्युत गुण होते हैं।