सेमिकोरेक्स पीएफए वेफर कैसेट उच्च-शुद्धता वाले वाहक हैं जो गीले प्रसंस्करण, भंडारण और परिवहन के दौरान अर्धचालक वेफर्स के सुरक्षित और संदूषण-मुक्त हैंडलिंग को सुनिश्चित करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। अर्धविराम का चयन न केवल बेहतर पीएफए सामग्री की गुणवत्ता की गारंटी देता है, बल्कि सटीक इंजीनियरिंग भी है जो उन्नत निर्माण वातावरण में विश्वसनीयता, स्वच्छता और दीर्घकालिक प्रदर्शन प्रदान करता है।*
अर्धविराम पीएफए वेफर कैसेट इंजीनियर कैरियर हैं जो उन्नत फैब्रिकेशन अनुप्रयोगों में सेमीकंडक्टर वेफर्स को सुरक्षित रूप से संभालने, स्टोर करने और स्थानांतरित करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। इन कैसेट को उच्च शुद्धता पेरफ्लुओरोकॉक्सी (पीएफए) बहुलक से बनाया गया है और गीली सफाई, रासायनिक प्रसंस्करण और वेफर परिवहन अनुप्रयोगों में आवश्यक रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता और यांत्रिक स्थायित्व प्रस्तुत किया जाता है। सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग प्रक्रिया में महत्वपूर्ण वेफर ट्रांसपोर्ट स्टेप्स में वेफर्स संदूषण, यांत्रिक क्षति और रासायनिक हमले से सुरक्षित रहते हैं।
इन वेफर कैसेट के लिए प्राथमिक सामग्री के रूप में पीएफए का उपयोग पारंपरिक बहुलक वाहक से एक महत्वपूर्ण परिवर्तन है। पीएफए में कई आक्रामक एसिड, ठिकानों, और सॉल्वैंट्स कॉमन कॉमन इन वेट प्रोसेस क्लीनिंग स्टेप्स (यानी आरसीए क्लीनिंग, एससी 1, एससी 2) के लिए बेहतर प्रतिरोध होता है, जो आमतौर पर अर्धचालक निर्माण से जुड़ा होता है। पीएफए की रासायनिक जड़ता यह सुनिश्चित करती है कि वेफर्स को वाहक से लीक होने वाले संदूषण के संपर्क में नहीं लाया जाएगा, इसलिए दोष प्रक्रिया अखंडता की कमी से उत्पन्न नहीं होते हैं। इसके अतिरिक्त, उच्च तापमान का सामना करने में सक्षम होने से कैसेट को स्थिर और विश्वसनीय प्रदर्शन के साथ गर्म रासायनिक स्नान या गर्म अल्ट्रापर पानी के रिंस को शामिल करने वाली प्रक्रियाओं का समर्थन करने की अनुमति मिलती है।
पीएफए वेफर कैसेटसटीक चिकनी सतहों के साथ इंजीनियर हैं जो कण के पालन को कम करने और सफाई के लिए अनुमति देने के लिए भी नॉनपोरस हैं। वेफर कैसेट आज के फैब्स में उच्च स्वच्छता स्तर प्राप्त करते हैं जहां भी उप-माइक्रोन संदूषण से उपज हानि या डिवाइस की विफलता हो सकती है। चिकनी आंतरिक आकृति का प्रकार नाजुक वेफर सतहों की खरोंच को कम करता है, और गीले प्रसंस्करण के बाद तरल पदार्थों की क्रमबद्ध जल निकासी के लिए अनुमति देता है ताकि रासायनिक अवशेषों के घोल को बचाने या वेफर्स को छूने से रोकने के लिए प्रक्रिया की स्थिरता में वृद्धि और दूसरी बार सफाई के प्रयासों की आवश्यकता को कम करने के लिए।
PFA वेफर कैसेट का एक अतिरिक्त प्रमुख लाभ आयामी सटीकता और संरचनात्मक स्थिरता है। कैसेट फैब्रिकेशन प्रक्रिया को सामान्य रूप से अपेक्षित होने की तुलना में तंग सहिष्णुता की आवश्यकता होती है, जो कैसेट को इस तरह से वेफर्स को मजबूती से पकड़ने की अनुमति देता है कि स्थानांतरण के दौरान वेफर्स के अवांछित शिफ्टिंग या अवांछित संपर्क नहीं है। कैसेट स्थिति या फ़ीचरियल रूप से सुसंगत हैं चाहे वह मैनुअल हैंडलिंग के लिए हो या स्वचालित वेफर ट्रांसपोर्ट सिस्टम के दौरान। PFA वेफर कैसेट उद्योग मानक वेफर हैंडलिंग और परिवहन प्रणालियों से जुड़े मानक भौतिक ब्रेकआउट के अनुरूप होगा। पीएफए वेफर कैसेट के साथ जुड़ी लंबी और उपयोगी सेवा विश्वसनीयता निवेश के मूल्य को बढ़ाती है क्योंकि पीएफए बार-बार रासायनिक, थर्मली साइकिलिंग और यांत्रिक एक्सपोज़र के बाद फिर से उपयोग किया जा सकता है।
पीएफए वेफर कैसेट वैफर्स की रक्षा के लिए बल्कि भंडारण और परिवहन के लिए न केवल गीले रासायनिक प्रसंस्करण में मूल्यवान संपत्ति हैं। वे शीतलन प्रक्रिया के दौरान वेफर्स को साफ रखने के लिए अक्रिय सामग्री के साथ बनाए जाते हैं, और उनके स्थायित्व को पैकेजिंग और परिवहन से टूटने और किनारे के चिप्स को सीमित करना चाहिए। पीएफए वेफर कैसेट सेमीकंडक्टर फैब्स के साथ -साथ अनुसंधान प्रयोगशालाओं, फोटोवोल्टिक विनिर्माण, और अन्य उद्योगों को उच्च शुद्धता वेफर हैंडलिंग की आवश्यकता होती है।
पीएफए वेफर कैसेटइसके अलावा अनुकूल स्थिरता और प्रति उपयोग लागत लाएं। निर्माण सामग्री रासायनिक हमले के लिए लचीला है और साफ करने में आसान है ताकि वे पुन: प्रयोज्य हैं, अपशिष्ट और डिस्पोजल कम कर रहे हैं और लंबे समय तक परिचालन व्यय को कम करने के लिए बार-बार उपयोग को प्रोत्साहित करते हैं। संदूषण होने पर एक वेफर के सामान्य टूटने को ध्यान में रखते हुए, संदूषण की घटनाओं को कम करने और वेफर हानि से उपज में वृद्धि होगी और दोष में कमी आएगी। उपज और बढ़े हुए कैनवास दोष की हानि एक अर्धचालक विनिर्माण संचालन की प्रतिस्पर्धा पर ऑन्कोलॉजी में प्रमुख कारक हैं।