पीएफए वेफर वाहक

अर्ध -पीएफएवफ़र वाहकउच्च प्रदर्शन वाले वाहक हैं जो एक अल्ट्रा-क्लीन वातावरण में सेमीकंडक्टर वेफर्स के सुरक्षित हैंडलिंग, स्टोरेज और ट्रांसपोर्टेशन के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। उन्नत अर्धचालकों का निर्माण यह सुनिश्चित करता है कि पीएफए वेफर वाहक अंतिम परीक्षण के माध्यम से निर्माण के दौरान वेफर्स की अखंडता और स्वच्छता से बेजोड़ रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता और कण नियंत्रण प्रदान करते हैं।

नए पीएफए से निर्मित, ये वेफर वाहक मजबूत एसिड, ठिकानों और सॉल्वैंट्स जैसे कठोर रसायनों के लिए बहुत प्रतिरोध दिखाते हैं, जो आमतौर पर सफाई और नक़्क़ाशी में उपयोग किए जाते हैं। पीएफए के बहुत कम आयन लीचिंग और आउटगासिंग गुण इसे महत्वपूर्ण क्लीनरूम कार्यों के लिए पसंदीदा सामग्री बनाते हैं, जहां भी छोटी मात्रा में संदूषक डिवाइस की पैदावार को प्रभावित कर सकते हैं।

पीएफए वेफर वाहक साफ कमरे में बनाए जाते हैं और कक्षा 1 (आईएसओ कक्षा 3) के स्वच्छ कमरे के मानकों के साथ काम करते हैं। पीएफए की चिकनी, नॉन-स्टिक सतह कण पीढ़ी और आसंजन को कम करती है, जो अवशेषों या कणों से संदूषण को रोकती है। इसके अतिरिक्त, PFA की हाइड्रोफोबिक प्रकृति पूरी तरह से rinsing और त्वरित सुखाने की सुविधा प्रदान करती है, जिससे गीले प्रसंस्करण चरणों के दौरान क्रॉस-संदूषण के जोखिम को कम करता है।

प्रत्येक पीएफए वेफर वाहक को ठीक से सुरक्षित और यहां तक कि वफ़र्स के समर्थन के दौरान आगे बढ़ने और रखने के दौरान बनाया जाता है। ग्रूव्ड स्लॉट वेफर्स को थोड़ा संपर्क के साथ मदद करते हैं, तनाव को कम करते हैं और वेफर्स के किनारों पर चिपिंग करते हैं। वाहक विभिन्न आकारों के विभिन्न आकारों को फिट करने के लिए कई आकार में आते हैं जिनमें 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी और 300 मिमी व्यास शामिल हैं। वैकल्पिक टॉप्स और टाइट लॉकिंग तरीके, मली, कंपन और पर्यावरण के संपर्क में आने के लिए झटके के खिलाफ अतिरिक्त सुरक्षा देते हैं।

260 डिग्री सेल्सियस तक पीएफए के उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध के कारण, यह प्रसार, ऑक्सीकरण और रासायनिक वाष्प जमाव सीवीडी जैसी उच्च तापमान प्रक्रियाओं के साथ संगत है। वाहक बार -बार थर्मल साइकिलिंग के तहत अपनी संरचनात्मक अखंडता को बरकरार रखता है और इसलिए बैच और स्वचालित प्रसंस्करण वातावरण दोनों के लिए उपयुक्त है।

पीएफए वेफर कैरियर में आईसी फैब्रिकेशन में वेफर क्लीनिंग, वेट नक़्क़ाशी, फोटोलिथोग्राफी सीएमपी और अन्य फ्रंट-एंड और बैक-एंड प्रक्रियाओं में व्यापक अनुप्रयोग हैं। उनकी मजबूत डिजाइन और पवित्रता उन्हें फैब्स, आर एंड डी लैब्स और ओईएम उपकरणों में उपयोग के लिए आदर्श बनाती है, जिसमें सख्त संदूषण नियंत्रण प्रोटोकॉल की आवश्यकता होती है।

स्वनिर्धारितपीएफए वेफर वाहकविशिष्ट स्वचालन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विकसित किया जा सकता है, जिसमें रोबोट हैंडलिंग, ट्रैक सिस्टम और ऊर्ध्वाधर/क्षैतिज परिवहन शामिल हैं। वाहक पूरी तरह से मानक वेफर हैंडलिंग उपकरण और अर्धचालक विनिर्माण उपकरण के साथ संगत हैं।