PECVD सौर ग्रेफाइट नाव

सेमीकोरेक्सPECVD सौर ग्रेफाइट नौकाएँउच्च शुद्धता से परिशुद्धता से निर्मित होते हैंआइसोस्टैटिक ग्रेफाइट. सेमीकोरेक्स की प्रत्येक पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नाव उच्च तापमान वाले प्लाज्मा वातावरण में स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए सटीक मशीनिंग, आयामी निरीक्षण और विद्युत प्रदर्शन परीक्षण से गुजरती है।

पीईसीवीडी प्रसंस्करण के दौरान, पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नाव सिलिकॉन वेफर्स को पीईसीवीडी प्रतिक्रिया कक्ष में ले जाती है और आरएफ बिजली आपूर्ति से जुड़े इलेक्ट्रोड के रूप में कार्य करती है। जब आसन्न नाव प्लेटों के बीच एक वैकल्पिक वोल्टेज लागू किया जाता है, तो एक विद्युत क्षेत्र स्थापित होता है। विद्युत क्षेत्र के प्रभाव में, प्रतिक्रियाशील गैसें (जैसे सिलेन SiH₄ और अमोनिया NH₃) चमक निर्वहन से गुजरती हैं और प्लाज्मा उत्पन्न करती हैं। प्लाज्मा में आयन और मुक्त कण पूर्ववर्ती गैसों को विघटित करते हैं, जिससे सिलिकॉन (Si) और नाइट्रोजन (N) आयन बनते हैं। ये आयन मिलकर सिलिकॉन नाइट्राइड (Si₃N₄) अणु बनाते हैं, जो फिर पतली फिल्म बनाने के लिए सिलिकॉन वेफर की सतह पर जमा हो जाते हैं।

1. असाधारण तापीय स्थिरता

सिलिकॉन वेफर्स, सेमीकोरक्स के करीब थर्मल विस्तार गुणांक के साथPECVD सौर ग्रेफाइट नावगर्म करने पर नगण्य आयामी परिवर्तन का अनुभव होता है, जो वेफर्स को थर्मल तनाव-प्रेरित क्षति से विश्वसनीय रूप से बचाता है।

2. बेहतर विद्युत और तापीय चालकता

सेमीकोरेक्स पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नौकाओं में उत्कृष्ट विद्युत चालकता होती है, जो आरएफ वर्तमान और समान विद्युत क्षेत्र वितरण का तेजी से संचालन सुनिश्चित करती है, जो स्थिर प्लाज्मा उत्पादन और समान सिलिकॉन वेफर जमाव के लिए फायदेमंद है। इसके अतिरिक्त, इसकी बेहतर तापीय चालकता तेजी से शीतलन और तापन की सुविधा प्रदान करती है, जिससे उत्पादन क्षमता में सुधार होता है और जमाव की गुणवत्ता को प्रभावित करने से स्थानीयकृत अति ताप को रोका जा सकता है।

3. मजबूत रासायनिक स्थिरता

प्रीमियम-ग्रेड सामग्री के उपयोग के लिए धन्यवाद, सेमीकोरेक्स पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नाव प्रतिक्रियाशील गैसों और प्लाज्मा के साथ प्रतिक्रिया करने की कम संभावना है। यह विशेषता ग्रेफाइट नाव में संक्षारण, विरूपण, या अशुद्धता जमाव के कारण होने वाले असमान विद्युत क्षेत्र वितरण को महत्वपूर्ण रूप से रोकती है, इस प्रकार जमाव प्रक्रिया की स्थिरता और सिलिकॉन वेफर्स की सतह की गुणवत्ता सुनिश्चित करती है।

4. उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति

अपनी उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति के साथ, सेमीकोरेक्स पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नाव उच्च मात्रा वाले वेफर भार के वजन को आसानी से संभाल सकती है। वे आसानी से विकृत या टूटे बिना लंबे समय तक लोडिंग और परिवहन के दौरान उत्पन्न यांत्रिक तनाव का सामना कर सकते हैं।

5. उत्कृष्ट आयामी स्थिरता

सेमीकोरेक्स पीईसीवीडी सौर ग्रेफाइट नाव सटीक मशीनिंग के माध्यम से सभी घटकों में असाधारण आयामी सटीकता प्राप्त करती है। यह जमाव के दौरान सिलिकॉन वेफर को एक निश्चित स्थिति में रखता है, जो स्वचालित उत्पादन के साथ एक समान जमाव और अनुकूलता सुनिश्चित करता है।