पीबीएन हीटर

अर्धविराम पायरोलाइटिक बोरॉन नाइट्राइड पीबीएन हीटर एक उच्च-शुद्धता, उच्च-प्रदर्शन हीटिंग घटक है जो उन अनुप्रयोगों की मांग के लिए डिज़ाइन किया गया है जहां अल्ट्रा-क्लीन, रासायनिक रूप से स्थिर और थर्मल रूप से कुशल सामग्री आवश्यक हैं। एक रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया के माध्यम से निर्मित, पीबीएन असाधारण तापीय चालकता, उच्च-तापमान प्रतिरोध और उत्कृष्ट रासायनिक जड़ता को प्रदर्शित करता है, जिससे यह अर्धचालक प्रसंस्करण, क्रिस्टल विकास और वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए आदर्श विकल्प बन जाता है।

PBN हीटर एक हीटर है जो एक सब्सट्रेट के रूप में अत्यधिक इन्सुलेट PBN का उपयोग करता है और कम दबाव (10torr से नीचे) और उच्च तापमान पर प्रवाहकीय पीजी को कोट करने के लिए कम दबाव वाले थर्मल अपघटन रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) का उपयोग करता है। इस समग्र हीटर के मुख्य घटक पायरोलाइटिक बोरॉन नाइट्राइड (पीबीएन) और पायरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीजी) हैं। इसके उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण, यह मुख्य रूप से अर्धचालक सब्सट्रेट हीटिंग (MBE, MOCVD, स्पटरिंग कोटिंग, आदि में उपयोग किया जाता है) के लिए उपयोग किया जाता है; सुपरकंडक्टर सब्सट्रेट हीटिंग; नमूना विश्लेषण के दौरान नमूना हीटिंग; इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप नमूना हीटिंग; धातु हीटिंग; धातु वाष्पीकरण हीटिंग स्रोत, आदि।

पीबीएन संक्षारक गैसों के लिए निष्क्रिय है; उच्च शुद्धता है (99.99%से अधिक); अधिकांश पिघले हुए धातुओं के साथ गीला या प्रतिक्रिया नहीं करता है (इसमें एक नॉन-स्टिक पैन की विशेषताएं हैं, और धातु का उपयोग 100%किया जा सकता है); अच्छा उच्च तापमान प्रतिरोध है (अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान 2000 ℃ है); अच्छा घनत्व; अच्छा थर्मल शॉक प्रतिरोध और अन्य उत्कृष्ट गुण इसे PBN-PG समग्र हीटर तैयार करने के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। पीजी को एक पीबीएन हीटर में 1600 ℃ (एक अक्रिय माहौल में और वैक्यूम के नीचे) तक तेजी से गर्म किया जा सकता है। इसी समय, पीबीएन की अच्छी तापीय चालकता के साथ संयुक्त, हीटिंग सतह में अच्छी गर्मी एकरूपता होती है। संबंधित उद्योगों के तेजी से विकास के साथ, पीबीएन-पीजी समग्र हीटरों की मांग भी तेजी से बढ़ी है।

PBN हीटरों को विशिष्ट डिजाइन और एकीकरण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विभिन्न प्रकार के आकृतियों और कॉन्फ़िगरेशन में गढ़ा जा सकता है। विशिष्ट डिजाइनों में प्लानर हीटर, ट्यूबलर हीटर और कस्टम ज्यामितीय एम्बेडेड या सतह-माउंटेड हीटिंग तत्वों के साथ कस्टम ज्यामितीय शामिल हैं। हीटिंग तत्व आमतौर पर पायरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीजी) से बने होते हैं और पीबीएन में एनकैप्सुलेटेड होते हैं, जो पूरी तरह से सील, विद्युत रूप से इन्सुलेट और थर्मल रूप से कुशल संरचना प्रदान करते हैं।