पीबीएन समग्र हीटर

अर्धविराम PBN समग्र हीटर पायरोलाइटिक ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता को रासायनिक जड़ता और पायरोलाइटिक बोरॉन नाइट्राइड के विद्युत इन्सुलेशन के साथ विलय करते हैं। ये हीटर एक बहुत ही उच्च शुद्धता ग्रेफाइट और पीबीएन से बनाए गए हैं जो उच्च शुद्धता बयान की शर्तों के तहत एक उच्च गुणवत्ता वाले सीवीडी (रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया का उपयोग करके लागू किया जाता है। प्रत्येक व्यक्तिगत उपलब्धि परत को अल्ट्रा-हाई शुद्धता और सुसंगत थर्मल गुणों को सुनिश्चित करने के लिए बहुत चरम नियंत्रणीयता के साथ जमा किया गया है। ग्रेफाइट कोर, जो त्वरित और समान हीटिंग प्रदान करता है, पीबीएन कैप्सूल द्वारा ऑक्सीकरण और संदूषण से सुरक्षित है; यह वैक्यूम गैस वातावरण और अक्रिय गैस वातावरण के लिए हीटर को आदर्श बनाता है। ये PBN हीटर उद्देश्यपूर्ण रूप से MBE (आणविक बीम एपिटैक्सी) रिएक्टरों, सीवीडी रिएक्टरों और अन्य क्रिस्टल विकास प्रणालियों में उपयोग के लिए डिज़ाइन किए गए हैं।

पायरोलाइटिक बोरॉन नाइट्राइड-पाइरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीबीएन-पीजी) कम्पोजिट हीटर एक हीटर है जो सब्सट्रेट के रूप में उच्च-इन्सुलेशन पीबीएन का उपयोग करता है और कम दबाव (सीवीडी) को कम दबाव (सीवीडी) का उपयोग करता है और प्रवाहकीय पीजी को कोट करने के लिए उच्च तापमान और उच्च तापमान पर। इस समग्र हीटर के मुख्य घटक पायरोलाइटिक बोरॉन नाइट्राइड (पीबीएन) और पायरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीजी) हैं। इसके उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण, यह मुख्य रूप से अर्धचालक सब्सट्रेट हीटिंग (MBE, MOCVD, स्पटरिंग कोटिंग, आदि में उपयोग किया जाता है) के लिए उपयोग किया जाता है; सुपरकंडक्टर सब्सट्रेट हीटिंग; नमूना विश्लेषण के दौरान नमूना हीटिंग; इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप नमूना हीटिंग; धातु हीटिंग; धातु वाष्पीकरण हीटिंग स्रोत, आदि।

पीबीएन हीटर वैक्यूम में 1600 डिग्री सेल्सियस तक के ऑपरेटिंग तापमान का सामना कर सकते हैं और किसी भी धातु आधारित विकल्पों पर थर्मल सदमे का सामना करने की बेहतर क्षमता रखते हैं, जिस पर आप भरोसा करेंगे। हीटर की सतह बेहद चिकनी और घनी होती है और ऑपरेशन के दौरान काफी कम कणों का उत्पादन करती है जो उन अनुप्रयोगों के लिए महत्वपूर्ण है जहां संदूषण को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता है जैसे कि अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण।

समग्र संरचना हीटर की सतह पर उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता प्रदान करती है, और इसके प्रतिरोधक पथों को एक अनुरूप गर्मी वितरण के लिए अनुमति देने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है। यह डिज़ाइन उपयोग किए गए सामग्रियों के समान थर्मल विस्तार गुणांक के कारण क्रैकिंग और डिलामिनिंग के बिना प्रसंस्करण के दौरान रैपिड रैंप-अप और कोल्डाउन साइकिल को सक्षम बनाता है। इलेक्ट्रोड निरंतर उच्च वर्तमान ऑपरेशन को समझने में सक्षम हैं और वैक्यूम में भी संगत हैं।

SEMICOREX विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए आवश्यक होने पर अद्वितीय आकार, आकार और बिजली आवश्यकताओं के लिए असीमित डिजाइन लचीलापन प्रदान करता है; चाहे वह मानक वेफर आकार, या अधिक जटिल ज्यामिति के लिए हो, हम उत्पादित प्रत्येक इकाई में आयामी सटीकता और थर्मल एकरूपता की गारंटी देते हैं।

PBN समग्र हीटर अल्ट्रा-क्लीन अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही हैं, जिनमें शामिल हैं:

• III-V और II-VI यौगिक सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए MBE सिस्टम
• ऑप्टिकल घटकों के लिए वैक्यूम कोटिंग सिस्टम
• नीलम और एसआईसी के लिए क्रिस्टल विकास प्रणाली
• अनुसंधान और विकास प्रयोगशाला वातावरण के लिए उच्च शुद्धता थर्मल प्रसंस्करण।