सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टैटिक चक वास्तव में कैसे निर्मित होते हैं?

पारंपरिक वेफर क्लैंपिंग विधियों में आमतौर पर पारंपरिक यांत्रिक उद्योगों में उपयोग की जाने वाली मैकेनिकल क्लैंपिंग और मोम बॉन्डिंग शामिल हैं, जो दोनों आसानी से वेफर को नुकसान पहुंचा सकते हैं, विकृत कर सकते हैं और इसे दूषित कर सकते हैं, जिससे प्रसंस्करण परिशुद्धता पर काफी प्रभाव पड़ता है।

वैक्यूम चक कैसे विकसित हुए और क्यों हैं?सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टैटिक चक्सपसंदीदा?

समय के साथ, झरझरा सिरेमिक से बने वैक्यूम चक विकसित किए गए। ये चक वेफर को पकड़ने के लिए सिलिकॉन वेफर और सिरेमिक सतह के बीच बने नकारात्मक दबाव का उपयोग करते हैं, जो स्थानीय विरूपण का कारण बन सकता है और समतलता को प्रभावित कर सकता है। इसलिए, हाल के वर्षों में,सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टैटिक चक, जो स्थिर और समान सोखना बल प्रदान करते हैं, वेफर संदूषण को रोकते हैं, और सिलिकॉन वेफर तापमान को प्रभावी ढंग से नियंत्रित करते हैं, अल्ट्रा-पतली वेफर्स के लिए आदर्श क्लैंपिंग उपकरण बन गए हैं।

की उत्पादन प्रक्रिया कैसी हैसिरेमिक इलेक्ट्रोस्टैटिक चक्सकिया गया?

आम तौर पर, मल्टीलेयर सिरेमिक सह-फायरिंग तकनीक का उपयोग किया जाता है, जिसमें टेप कास्टिंग, स्लाइसिंग, स्क्रीन प्रिंटिंग, लेमिनेशन, हॉट प्रेसिंग और सिंटरिंग जैसी प्रक्रियाएं शामिल होती हैं।

कूलम्ब-प्रकार के लिएइलेक्ट्रोस्टैटिक चक, ढांकता हुआ परत में प्रवाहकीय सामग्री नहीं होती है। इसमें एक स्थिर घोल बनाने के लिए सिरेमिक पाउडर, सॉल्वैंट्स, डिस्पर्सेंट्स, बाइंडर्स, प्लास्टिसाइज़र और सिंटरिंग एड्स को मिलाना शामिल है। फिर इस घोल को एक डॉक्टर ब्लेड का उपयोग करके लेपित किया जाता है, सुखाया जाता है और एक विशिष्ट मोटाई की सिरेमिक हरी शीट बनाने के लिए काट दिया जाता है। जेआर-प्रकार के लिएइलेक्ट्रोस्टैटिक चक, जे-आर परत के आवश्यक प्रतिरोध को प्राप्त करने के लिए अतिरिक्त प्रतिरोधकता समायोजक (प्रवाहकीय सामग्री) को मिलाया जाता है, इसके बाद हरे रंग की चादरें बनाने के लिए टेप कास्टिंग की जाती है।

स्क्रीन प्रिंटिंग का उपयोग मुख्य रूप से इलेक्ट्रोड परत तैयार करने के लिए किया जाता है। कंडक्टिव पेस्ट को सबसे पहले स्क्रीन प्रिंटिंग प्लेट के एक सिरे पर डाला जाता है। स्क्रीन प्रिंटर पर स्क्वीजी की कार्रवाई के तहत, प्रवाहकीय पेस्ट स्क्रीन प्लेट के जाल उद्घाटन से गुजरता है और सब्सट्रेट पर जमा होता है। मुद्रण प्रक्रिया तब पूरी होती है जब स्क्वीजी चांदी के पेस्ट को स्क्रीन जाल के माध्यम से समान रूप से फैला देता है।

हरे सिरेमिक शीट को आवश्यक क्रम (सब्सट्रेट परत, इलेक्ट्रोड परत, ढांकता हुआ परत) और परतों की संख्या के अनुसार ढेर किया जाता है। फिर उन्हें विशिष्ट तापमान और दबाव की स्थिति में एक साथ दबाया जाता है ताकि एक पूर्ण हरा शरीर बन सके। यह सुनिश्चित करना महत्वपूर्ण है कि दबाव हरे शरीर की पूरी सतह पर समान रूप से वितरित हो ताकि संपीड़न के दौरान एक समान सिकुड़न सुनिश्चित हो सके।

अंत में, पूरा हरा शरीर भट्टी में एकीकृत सिंटरिंग से गुजरता है। सिंटरिंग प्रक्रिया के दौरान समतलता और सिकुड़न पर नियंत्रण सुनिश्चित करने के लिए एक उपयुक्त तापमान प्रोफ़ाइल स्थापित की जानी चाहिए। बताया गया है कि जापान की एनजीके सिंटरिंग के दौरान पाउडर की सिकुड़न दर को लगभग 10% तक नियंत्रित कर सकती है, जबकि अधिकांश घरेलू निर्माताओं की सिकुड़न दर अभी भी 20% या उससे अधिक है।**

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