कैंटिलीवर पैडल को जानना

प्रसंस्करण के दौरान, सेमीकंडक्टर वेफर्स को आमतौर पर एक विशेष भट्टी में गर्म किया जाना चाहिए। ऐसी भट्टियाँ आम तौर पर लंबी, पतली, बेलनाकार ट्यूबों से बनी होती हैं। वेफर्स को भट्ठी और रिएक्टर में इस तरह से स्थित किया जाता है कि वे भट्ठी या रिएक्टर के गोलाकार क्रॉस-सेक्शन द्वारा परिभाषित एक विमान के साथ व्यवस्थित होते हैं और पूर्व निर्धारित, आमतौर पर समान दूरी पर, केंद्रीय अक्ष के साथ बिंदुओं पर अलग-अलग दूरी पर होते हैं। भट्ठी या रिएक्टर. इस स्थिति को प्राप्त करने के लिए, वेफर्स को आमतौर पर स्लॉटेड होल्डर्स पर रखा जाता है, जिन्हें वेफर बोट कहा जाता है, जो वेफर्स को केंद्रीय अक्ष के साथ संरेखित एक दूरी वाले कॉन्फ़िगरेशन में रखते हैं।

संसाधित किए जाने वाले वेफर्स के बैचों वाली छोटी नावों को लंबे कैंटिलीवर पैडल पर रखा जाता है, जिसके माध्यम से ट्यूबलर भट्टियां और रिएक्टर डाले और निकाले जा सकते हैं। ऐसे पैडल में आम तौर पर एक फ्लैट वाहक अनुभाग शामिल होता है जिस पर एक या अधिक छोटी नावें रखी जा सकती हैं, और एक लंबा हैंडल, जो फ्लैट वाहक अनुभाग के एक छोर पर स्थित होता है, जिसके द्वारा पैडल को संभाला जा सकता है। उन्हें समग्र बनाने के लिए आमतौर पर हैंडल और वाहक भाग के बीच एक संक्रमण भाग बनाया जाता है। साथ ही, हैंडल को भट्टी या रिएक्टर से बाहर की ओर फैलाना चाहिए ताकि इसे और वेफर बोट को हेरफेर किया जा सके।

भट्ठी या रिएक्टर के भीतर वेफर जहाज की स्थिति महत्वपूर्ण है क्योंकि प्रत्येक वेफर के केंद्र को भट्ठी या रिएक्टर के केंद्रीय अक्ष के जितना संभव हो उतना करीब रखना वांछनीय है ताकि समान प्रसंस्करण की स्थिति प्राप्त हो सके जिसके तहत वेफर्स अधीन हैं। इसलिए, वेफर्स ले जाने वाले जहाज के वजन के कारण होने वाले पैडल के झुकाव को पैडल डिजाइन में ध्यान में रखा जाना चाहिए, खासकर जब से पैडल को केवल एक छोर पर समर्थित किया जाता है, यानी, भट्ठी कक्ष से निकलने वाला अंत। परिचालन वजन आवश्यकताओं के परिणामस्वरूप पैडल डिजाइन पर विचार करने के अलावा, पैडल के विस्तारित सिरे को स्थिति में सटीक रूप से पकड़ने के लिए डिज़ाइन किए गए क्लैंप का एक सेट भी इस्तेमाल किया जाना चाहिए। पैडल को सटीक वांछित स्थिति में रखने के लिए ये क्लैंप काफी मजबूत होने चाहिए, साथ ही उपयोग में आसान होने चाहिए और क्लैंपिंग के दौरान पैडल को नुकसान की संभावना को कम करना चाहिए।

इसलिए, एक कैंटिलीवर पैडल की आवश्यकता थी जिसका उपयोग मौजूदा क्लैंपिंग सिस्टम के साथ संगत रहते हुए भारी भार के साथ किया जा सके। एक कैंटिलीवर पैडल की भी आवश्यकता थी जो वजन भार की पूरी श्रृंखला पर स्वीकार्य विक्षेपण विशेषताओं को प्रदर्शित करता था जिसका उपयोग इसके साथ किया जा सकता था।

सीएंटीलीवर पैडल को CVD SiC पतली परत के साथ पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग करने की अनुशंसा की जाती है, जो उच्च शुद्धता है और अर्धचालक प्रसंस्करण में घटकों के लिए सबसे अच्छा विकल्प है।

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