2023-06-19
नैनोटेक्नोलॉजी युग में मौजूदा मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सामग्रियों को बदलने के लिए सिलिकॉन-ऑन-इंसुलेटर (एसओआई) को एक समाधान के रूप में मान्यता प्राप्त है और यह मूर के कानून की प्रवृत्ति को बनाए रखने के लिए एक प्रमुख उपकरण है। सिलिकॉन-ऑन-इन्सुलेटर, एक सब्सट्रेट तकनीक जो पारंपरिक बल्क सब्सट्रेट सिलिकॉन को "इंजीनियर्ड" सब्सट्रेट से बदल देती है, इसका उपयोग सैन्य और अंतरिक्ष इलेक्ट्रॉनिक्स सिस्टम जैसे विशेष अनुप्रयोगों में 30 से अधिक वर्षों से किया गया है, जहां एसओआई के उत्कृष्ट होने के कारण अद्वितीय फायदे हैं विकिरण प्रतिरोध और उच्च गति विशेषताएँ।
SOI सामग्रियां SOI प्रौद्योगिकी के विकास की नींव हैं, और SOI प्रौद्योगिकी का विकास SOI सामग्रियों की निरंतर प्रगति पर निर्भर करता है। कम लागत, उच्च गुणवत्ता वाली एसओआई सामग्रियों की कमी एसओआई प्रौद्योगिकी के लिए बड़े पैमाने पर औद्योगिक उत्पादन में प्रवेश करने में प्राथमिक बाधा रही है। हाल के वर्षों में, SOI सामग्री तैयारी प्रौद्योगिकी की परिपक्वता के साथ, SOI प्रौद्योगिकी के विकास को प्रतिबंधित करने वाली सामग्री समस्या को धीरे-धीरे हल किया जा रहा है, जिसमें अंततः दो प्रकार की SOI सामग्री तैयारी तकनीक शामिल है, अर्थात् स्परेशन-बाय-ऑक्सीजन प्रत्यारोपण (SIMOX) और संबंध प्रौद्योगिकी. बॉन्डिंग तकनीक में पारंपरिक बॉन्ड और एच बैक (बीईएसओआई) तकनीक और फ्रांस में एसओआईटीईसी के संस्थापकों में से एक एम. ब्रुएल द्वारा प्रस्तावित हाइड्रोजन आयन इंजेक्शन और बॉन्डिंग को संयोजित करने वाली स्मार्ट-कट तकनीक, साथ ही सिम्बोंड एसओआई सामग्री तैयारी संयोजन शामिल है। 2005 में डॉ. मेंग चेन द्वारा प्रस्तावित ऑक्सीजन अलगाव और बॉन्डिंग। नई तकनीक ऑक्सीजन इंजेक्शन अलगाव और बॉन्डिंग को जोड़ती है।