2023-09-11
प्रसार भट्ठी उपकरण का एक विशेष टुकड़ा है जिसका उपयोग नियंत्रित तरीके से अर्धचालक वेफर्स में अशुद्धियों को पेश करने के लिए किया जाता है। ये अशुद्धियाँ, जिन्हें डोपेंट कहा जाता है, अर्धचालकों के विद्युत गुणों को बदल देती हैं, जिससे विभिन्न प्रकार के इलेक्ट्रॉनिक घटक बनाए जा सकते हैं। यह नियंत्रित प्रसार प्रक्रिया ट्रांजिस्टर, डायोड और एकीकृत सर्किट के उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है।
प्रसार भट्टियों में कई प्रमुख घटक होते हैं, जिनमें प्रक्रिया ट्यूब, हीटिंग तत्व, वायु सेवन तंत्र और नियंत्रण प्रणाली शामिल हैं। प्रक्रिया ट्यूब एक कक्ष के रूप में कार्य करती है जहां वेफर रखा जाता है। यह उच्च तापमान और संक्षारक गैसों का सामना कर सकता है, जो इसे इस अनुप्रयोग के लिए एक आदर्श सामग्री बनाता है।
हीटिंग तत्व भट्ठी के तापमान को वांछित स्तर तक बढ़ाने के लिए आवश्यक गर्मी प्रदान करते हैं। प्रसार भट्टियों में तापमान आमतौर पर 1200°C तक होता है। समान ताप सुनिश्चित करने के लिए, तापन तत्वों को अक्सर पेचदार आकार में व्यवस्थित किया जाता है।
भट्टी में डोपेंट गैस डालने के लिए गैस इनलेट तंत्र का उपयोग किया जाता है। अंतिम अर्धचालक उत्पाद के वांछित विद्युत गुणों के आधार पर सामान्य डोपेंट में बोरॉन, फॉस्फोरस और आर्सेनिक शामिल हैं। एक नियंत्रण प्रणाली डोपेंट गैस के प्रवाह को नियंत्रित करती है, जिससे प्रसार प्रक्रिया पर सटीक नियंत्रण बना रहता है।
अर्धचालक उद्योग में प्रसार भट्टियों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। इनका उपयोग डोपिंग प्रक्रिया में किया जाता है जो ट्रांजिस्टर और डायोड में पीएन जंक्शन बनाता है। प्रसार भट्टियां भी एकीकृत सर्किट के निर्माण में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती हैं, जहां विभिन्न अर्धचालकों की कई परतें खड़ी होती हैं और आपस में जुड़ी होती हैं।
इसके अलावा, पावर एमओएसएफईटी (मेटल ऑक्साइड सेमीकंडक्टर फील्ड इफेक्ट ट्रांजिस्टर) और इंसुलेटेड गेट बाइपोलर ट्रांजिस्टर (आईजीबीटी) जैसे उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण के लिए प्रसार भट्टियां आवश्यक हैं। ये उपकरण बिजली इलेक्ट्रॉनिक्स और नवीकरणीय ऊर्जा प्रौद्योगिकी में इतने महत्वपूर्ण हैं कि प्रसार भट्टियां उनके उत्पादन का अभिन्न अंग हैं।
डिफ्यूजन भट्टियां सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण उपकरण हैं, जो सेमीकंडक्टर वेफर्स में डोपेंट के नियंत्रित परिचय की अनुमति देती हैं। ये भट्टियाँ ट्रांजिस्टर, डायोड और एकीकृत सर्किट जैसे विभिन्न अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन का एक अभिन्न अंग हैं। जैसे-जैसे प्रौद्योगिकी आगे बढ़ती है, प्रसार भट्टियों की क्षमताओं में वृद्धि जारी रहती है, जिससे अधिक सटीक और विश्वसनीय विनिर्माण प्रक्रियाओं की अनुमति मिलती है। उन्नत इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की बढ़ती मांग को पूरा करने के लिए सेमीकंडक्टर उद्योग इन भट्टियों पर बहुत अधिक निर्भर करता है।
सेमीकोरेक्स प्रसार भट्टियों के लिए अनुकूलित SiC भागों का निर्माण करता है। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें।
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