2023-09-08
सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण के दौरान, वेफर्स को गर्म करने के लिए विशेष भट्टियों का उपयोग किया जाता है। इन भट्टियों में लम्बी बेलनाकार ट्यूब होती हैं जहां वेफर्स को पूर्व निर्धारित और समान दूरी पर वेफर नावों पर रखा जाता है। यह सुनिश्चित करने के लिए कि प्रसंस्करण उपकरण वेफर्स को बर्बाद न करें और चैम्बर के भीतर प्रसंस्करण स्थितियों का सामना करने के लिए, वेफर नौकाओं और वेफर प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले अन्य उपकरणों को सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) जैसी सामग्रियों से निर्मित किया जाता है।
संसाधित किए जाने वाले वेफर्स के एक बैच से भरी हुई वेफर नावें लंबे कैंटिलीवर पैडल पर स्थित होती हैं। इन पैडल को ट्यूबलर भट्टियों और रिएक्टरों में डाला और निकाला जा सकता है। पैडल में एक चपटा वाहक खंड होता है जो एक या अधिक नावों को पकड़ सकता है और आसान संचालन के लिए चपटे वाहक खंड के एक छोर पर स्थित एक लंबा हैंडल होता है।
अर्धचालक प्रसंस्करण में सर्वोत्तम घटकों के लिए, CVD SiC पतली परत के साथ पुनः क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड से बने कैंटिलीवर पैडल का उपयोग करने की अनुशंसा की जाती है। यह सामग्री उच्च शुद्धता वाली है और ऐसे घटकों के लिए सबसे अच्छा विकल्प है।
सेमीकोरेक्स उच्च गुणवत्ता वाले CVD SiC कोटिंग के साथ अनुकूलित कैंटिलीवर पैडल बनाता है। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें।
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