प्रसार प्रक्रिया क्या है

डोपिंग में अपने विद्युत गुणों को बदलने के लिए अर्धचालक सामग्री में अशुद्धियों की एक खुराक का परिचय देना शामिल है। प्रसार और आयन आरोपण डोपिंग के दो तरीके हैं। प्रारंभिक अशुद्धता डोपिंग मुख्य रूप से उच्च तापमान प्रसार के माध्यम से पूरा किया गया था।

प्रसार एक की सतह पर अशुद्धता परमाणुओं को जमा करता हैसब्सट्रेट वेफरएक वाष्प स्रोत या डोपेड ऑक्साइड से। अशुद्धता एकाग्रता सतह से थोक तक नीरस रूप से घट जाती है, और अशुद्धता वितरण मुख्य रूप से प्रसार तापमान और समय द्वारा निर्धारित किया जाता है। आयन आरोपण में आयन बीम का उपयोग करके अर्धचालक में डोपेंट आयनों को इंजेक्ट करना शामिल है। अशुद्धता एकाग्रता में अर्धचालक के भीतर एक शिखर वितरण होता है, और अशुद्धता वितरण आयन खुराक और आरोपण ऊर्जा द्वारा निर्धारित किया जाता है।

प्रसार प्रक्रिया के दौरान, वेफर को आमतौर पर एक कड़ाई से तापमान-नियंत्रित क्वार्ट्ज उच्च तापमान भट्टी ट्यूब में रखा जाता है और वांछित डोपेंट युक्त एक गैस मिश्रण पेश किया जाता है। एसआई प्रसार प्रक्रियाओं के लिए, बोरॉन सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला पी-टाइप डोपेंट है, जबकि फॉस्फोरस सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला एन-टाइप डोपेंट है। (Sic आयन आरोपण के लिए, पी-टाइप डोपेंट आमतौर पर बोरॉन या एल्यूमीनियम होता है, और एन-टाइप डोपेंट आमतौर पर नाइट्रोजन होता है।)

अर्धचालकों में प्रसार को रिक्तियों या अंतरालीय परमाणुओं के माध्यम से सब्सट्रेट जाली में डोपेंट परमाणुओं के परमाणु आंदोलन के रूप में देखा जा सकता है।

उच्च तापमान पर, जाली परमाणु अपने संतुलन की स्थिति के पास कंपन करते हैं। जाली साइटों पर परमाणुओं में अपने संतुलन की स्थिति से स्थानांतरित करने के लिए पर्याप्त ऊर्जा प्राप्त करने की एक निश्चित संभावना होती है, जिससे अंतरालीय परमाणु बनते हैं। यह मूल साइट पर एक रिक्ति बनाता है। जब पास की अशुद्धता परमाणु एक खाली साइट पर कब्जा कर लेता है, तो इसे रिक्ति प्रसार कहा जाता है। जब एक अंतरालीय परमाणु एक साइट से दूसरी साइट पर जाता है, तो इसे अंतरालीय प्रसार कहा जाता है। छोटे परमाणु रेडी वाले परमाणु आमतौर पर अंतरालीय प्रसार का अनुभव करते हैं। एक अन्य प्रकार का प्रसार तब होता है जब अंतरालीय परमाणु पास के जाली साइटों से परमाणुओं को विस्थापित करते हैं, एक प्रतिस्थापन अशुद्धता परमाणु को अंतरालीय साइट में धकेलते हैं। यह परमाणु तब इस प्रक्रिया को दोहराता है, प्रसार दर को काफी तेज करता है। इसे पुश-फिल डिफ्यूजन कहा जाता है।

एसआई में पी और बी के प्राथमिक प्रसार तंत्र रिक्ति प्रसार और पुश-फिल प्रसार हैं।

अर्धविराम उच्च शुद्धता को अनुकूलित प्रदान करता हैSic घटकप्रसार प्रक्रिया में। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमारे साथ संपर्क करने में संकोच न करें।

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