सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

वेफर मैन्युफैक्चरिंग में हर उच्च तापमान की प्रक्रिया के पीछे एक मूक अभी तक महत्वपूर्ण खिलाड़ी है: वेफर बोट। कोर वाहक के रूप में जो सीधे वेफर प्रोसेसिंग के दौरान सिलिकॉन वेफर से संपर्क करता है, इसकी सामग्री, स्थिरता और स्वच्छता सीधे अंतिम चिप उपज और प्रक्रिया स्थिरता से संबंधित होती है। विभिन्न वाहक सामग्रियों में,सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी)नावें धीरे-धीरे पारंपरिक क्वार्ट्ज समाधानों की जगह ले रही हैं, उन्नत प्रक्रियाओं और उच्च अंत उपकरणों के लिए पसंदीदा समाधान बन रही हैं।

क्यों sic wafer नौकाओं?

7NM से नीचे प्रक्रिया नोड्स की उन्नति और उच्च तापमान प्रक्रिया खिड़कियों के विस्तार के साथ, पारंपरिक क्वार्ट्ज वेफर नावें थर्मल स्थिरता, कण नियंत्रण और जीवनकाल प्रबंधन के मामले में तेजी से संघर्ष कर रही हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट, हालांकि, धीरे -धीरे निम्नलिखित फायदों के कारण प्रमुखता प्राप्त कर रहे हैं:

1. उच्च तापमान पर स्थिर:

वे 1350-1600 डिग्री सेल्सियस के दीर्घकालिक परिचालन तापमान की पेशकश करते हैं, आसानी से सीवीडी, प्रसार और एनीलिंग जैसी मुख्यधारा की प्रक्रियाओं को संभालते हैं। यहां तक ​​कि 1800 डिग्री सेल्सियस के तापमान के लिए संक्षिप्त संपर्क कोई नरम या विरूपण नहीं दिखाता है, जिससे वे एकल क्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड भट्टियों जैसे उच्च-अंत उपकरणों के लिए उपयुक्त हैं।

2. विस्तार और उच्च थर्मल शॉक स्थिरता:

थर्मल विस्तार के एक कम गुणांक के साथ, वे तेजी से तापमान में वृद्धि का सामना कर सकते हैं और घटते हैं, थर्मल तनाव के कारण होने वाले संरचनात्मक क्रैकिंग को कम करते हैं। वे उच्च तापमान, जटिल वायुमंडल (जैसे हाइड्रोजन, नाइट्रोजन, अमोनिया और फ्लोराइड्स) में उत्कृष्ट आकारिकी और प्रदर्शन बनाए रखते हैं।

3. क्लीं सतह और बेहद कम संदूषण:

न्यूनतम धातु अशुद्धियों के साथ उच्च सामग्री शुद्धता। कम सतह खुरदरापन, सिलिकॉन वेफर्स के माध्यमिक संदूषण को रोकना; उत्कृष्ट सतह खुरदरापन नियंत्रण, 0.1μm से नीचे आरए के साथ, कण शेडिंग को दबाता है और उन्नत प्रक्रियाओं की क्लीनरूम आवश्यकताओं को पूरा करता है;

4। एक-टुकड़ा मोल्डिंग, प्रिसिजन-मचाइज़्ड वेफर बोट संरचनाएं सीधे मोल्डलेस के माध्यम से बनाई जा सकती हैं3 डी प्रिंटिंग, सांचों की आवश्यकता को समाप्त करना, अनुकूलन दक्षता में काफी सुधार करना; पांच-अक्ष मशीनिंग और तार-काटने वाली तकनीक के साथ संयुक्त, नाव के दांत बूर-मुक्त हैं, वेफर्स पर खरोंच को रोकते हैं और चिकनी स्वचालित हैंडलिंग सुनिश्चित करते हैं;

5। उच्च शक्ति और लंबा जीवन: 

एक एकल नाव उच्च लोड-असर ताकत का दावा करती है और साथ ही साथ 12 इंच के वेफर्स को दर्जनों का समर्थन कर सकती है। पारंपरिक क्वार्ट्ज नौकाओं की तुलना में, नाव का औसत जीवनकाल 5-10 गुना लंबा है, जिससे उपकरण परिवर्तन आवृत्ति और स्वामित्व की कुल लागत कम हो जाती है।

अनुप्रयोग परिदृश्य

की व्यापक अनुकूलनशीलतासिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्ससेमीकंडक्टर क्षेत्र से परे उनके आवेदन का विस्तार विभिन्न प्रकार के उच्च तापमान प्रक्रिया परिदृश्यों तक करता है, जिसमें नई ऊर्जा सामग्री, एलईडी विनिर्माण और परमाणु ऊर्जा अनुसंधान शामिल हैं।

सेमीकंडक्टर उद्योग

यह ऑक्सीकरण, प्रसार, सीवीडी बयान और आयन आरोपण जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है, जिससे यह सब -7 एनएम प्रक्रिया लाइनों के लिए एक अपरिहार्य उच्च तापमान वाहक बन जाता है।

फोटोवोल्टिक उद्योग

टॉपकॉन और HJT जैसी उभरती हुई बैटरी प्रौद्योगिकियों में, वेफर बोट का उपयोग उच्च तापमान भट्ठी प्रक्रियाओं जैसे LPCVD और annealing में किया जाता है, जिससे ऊर्जा दक्षता और रूपांतरण दरों में सुधार करने में मदद मिलती है।

तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक

LED में GAN और SIC एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रियाओं के लिए, वे नीलम या सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट का समर्थन करते हैं। वे उच्च-आवृत्ति वाले बिजली उपकरणों के निर्माण का समर्थन करते हुए, एनएच ₃ और एचसीएल जैसे संक्षारक गैसों का सामना करते हैं।

नई ऊर्जा सामग्री और अनुसंधान उच्च तापमान मंच

लिथियम बैटरी कैथोड सामग्री की सिंटरिंग प्रतिक्रिया और परमाणु उद्योग सामग्री के गर्मी उपचार का समर्थन करता है, गर्मी प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और स्वच्छता का संयोजन करता है।

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