2025-03-31
एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन) सिरेमिक हीटरअर्धचालक के लिए एक उपकरण है जिसका उपयोग अर्धचालक सामग्री को गर्म करने के लिए किया जाता है। यह मुख्य रूप से एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री से बना है, इसमें उत्कृष्ट तापीय चालकता और उच्च तापमान प्रतिरोध है, और उच्च तापमान पर संचालित हो सकता है। ALN हीटर आमतौर पर एक हीटिंग तत्व के रूप में एक प्रतिरोध तार का उपयोग करता है। गर्मी को गर्म करने के लिए प्रतिरोध तार को ऊर्जावान करके, गर्मी को अर्धचालक सामग्री को गर्म करने के लिए हीटर की सतह पर स्थानांतरित कर दिया जाता है। सेमीकंडक्टर के लिए ALN हीटर अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है और इसका उपयोग क्रिस्टल ग्रोथ, एनीलिंग और बेकिंग जैसी प्रक्रियाओं में किया जा सकता है। अर्धचालकों के लिए ग्लोबल एएलएन हीटर बाजार 2022 में 535.05 मिलियन अमेरिकी डॉलर तक पहुंच गया, जो साल-दर-साल 7.13%की वृद्धि हुई। यह उम्मीद की जाती है कि 2029 में बाजार का आकार 2029 में US $ 848.21 मिलियन तक पहुंच जाएगा, 2023 से 2029 तक 6.72% की चक्रवृद्धि विकास दर (CAGR)।
प्रक्रमन तकनीकी कठिनाइयोंअलन हीटर
1। ALN हीटर के प्रसंस्करण के दौरान, सामग्री के आंतरिक तनाव में परिवर्तन के कारण तोड़ना और पतन करना आसान है, इस प्रकार तैयार उत्पाद की योग्य दर को प्रभावित करता है। एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री का उत्पादन आसान नहीं है, और एएलएन हीटर की कम उपज दर भी एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक हीटिंग प्लेटों की उच्च कीमत के लिए महत्वपूर्ण कारणों में से एक है।
2। एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री की समस्या स्वयं। क्योंकि एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री उत्पादन उद्योग में, सामग्री की संरचना अलग -अलग तापमान और पर्यावरणीय परिस्थितियों में तदनुसार बदल जाएगी। एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री का उत्पादन स्वयं एक अपेक्षाकृत कठिन काम है। सामग्री की कम गुणवत्ता भी ALN हीटर की कम योग्य दर के लिए एक महत्वपूर्ण कारण है।
तापीय चालकता को प्रभावित करने वाले कारक
एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक की तापीय चालकता को प्रभावित करने वाले मुख्य कारक जाली घनत्व, ऑक्सीजन सामग्री, पाउडर शुद्धता, माइक्रोस्ट्रक्चर, आदि हैं, जो एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक की थर्मल चालकता को प्रभावित करेंगे।
जाली का घनत्व
एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक सामग्री की थर्मल चालकता के अनुसार, कम घनत्व के नमूनों में बड़ी संख्या में छिद्रों की उपस्थिति फोनन के बिखरने को प्रभावित करेगी, उनके औसत मुक्त पथ को कम करेगी, और इस प्रकार एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक की तापीय चालकता को कम करेगी। इसी समय, कम घनत्व के नमूनों के यांत्रिक गुण प्रासंगिक अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकते हैं। इसलिए, उच्च घनत्व एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक के लिए उच्च तापीय चालकता के लिए शर्त है।
ऑक्सीजन सामग्री और अशुद्धियाँ
एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक के लिए, ऑक्सीजन के लिए अपनी मजबूत आत्मीयता के कारण, ऑक्सीजन अशुद्धियों को सिंटरिंग प्रक्रिया के दौरान एएलएन जाली में फैलाना आसान है, जो सीधे विभिन्न प्रकार के दोषों से संबंधित है और एल्यूमीनियम नाइट्राइड की थर्मल चालकता पर प्रभाव का मुख्य स्रोत है। फोनन-डिफेक्ट्स के बिखरने में, मुख्य भूमिका अशुद्धता ऑक्सीजन और एल्यूमीनियम ऑक्साइड की उपस्थिति द्वारा निभाई जाती है। चूंकि एल्यूमीनियम नाइट्राइड को हाइड्रोलाइज और ऑक्सीकरण करना आसान होता है, इसलिए सतह पर एल्यूमीनियम ऑक्साइड फिल्म की एक परत बनती है, और एल्यूमीनियम ऑक्साइड एल्यूमीनियम नाइट्राइड जाली में एल्यूमीनियम रिक्तियों का उत्पादन करने के लिए घुल जाता है।
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