कैसे उन्नत सामग्री सेमीकंडक्टर भट्ठी डिजाइन में 3 महत्वपूर्ण चुनौतियों को हल करती है

ट्रांजिस्टर आकार और स्केल सौर सेल दक्षता को कम करने की दौड़ थर्मल प्रसंस्करण उपकरण को अपनी सीमा तक धकेल रही है। अर्धविराम में, हमने दो दशकों को एक आवर्ती दर्द बिंदु को संबोधित करने के लिए अग्रणी अर्धचालक और पीवी निर्माताओं के साथ सहयोग करते हुए बिताया है: जब मानक सामग्री चरम परिस्थितियों में विफल हो जाती है, तो पूरे उत्पादन बैचों से समझौता किया जा सकता है।

सीवीडी कोटिंग्स: प्रक्रिया घटकों के लिए कवच

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) कोटिंग्स जैसे सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) और टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कठोर वातावरण में घटक दीर्घायु में क्रांति ला रहे हैं:

सीसी कोटिंगलाभ:

अक्रिय वायुमंडल में 1,650 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान का सामना करना पड़ता है

एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टरों में कण संदूषण को कम करता है

3-5x द्वारा ग्रेफाइट सूसोसेप्टरों की सेवा जीवन का विस्तार करता है

टीएसी कोटिंगप्रसार बाधाओं में:

क्रूसिबल में पिघला हुआ सिलिकॉन घुसपैठ को रोकता है (99.999% शुद्धता प्रतिधारण)

रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) के दौरान वेफर वारपेज को कम करता है

जब तापमान 1600 ° C से अधिक है: CVD कोटिंग लाभ

यह जादू नहीं है - यह सामग्री विज्ञान है। हमारी मालिकाना सीवीडी प्रक्रिया परमाणु-स्तरीय परिशुद्धता के साथ SIC और TAC दोनों कोटिंग्स दोनों को जमा करती है, जिससे सतहों का निर्माण होता है:

मानक कोटिंग्स की तुलना में सिलिकॉन वाष्प संक्षारण 3x लंबे समय तक विरोध करें

जटिल ज्यामितीयों में <0.5 andm मोटाई भिन्नता बनाए रखें

थर्मल साइकिलिंग के तहत भी कोटिंग को हटा दें

थर्मल एकरूपता में मूक संकट

क्रिस्टल ग्रोथ भट्टियों में, असंगत तापमान वितरण $ 250k सिलिकॉन इंगोट को स्क्रैप में बदल सकता है। सामग्री नवाचारों के माध्यम से:

घनत्व-ग्रेडेड ग्रेफाइट महसूस किया (0.18-0.25g/cm sign ग्रेडिएंट डिज़ाइन)

<2% थर्मल विस्तार अनिसोट्रॉपी के साथ कार्बन-कार्बन समग्र इंसुलेटर

... हमने ग्राहकों को प्राप्त करने में मदद की है:

300 मिमी czochralski सिस्टम में ± ± 1.5 ° C अक्षीय तापमान एकरूपता

✔ 40% तेजी से शीतलन दरें बिना इनकोट क्रैकिंग के बिना

क्वार्ट्ज पवित्रता पहले से कहीं ज्यादा क्यों मायने रखती है

जब एक टियर -1 मेम्स फाउंड्री ने कण को ​​उनके नक़्क़ाशी चैम्बर लाइनर्स के लिए दोष दिया, तो हमारे बुलबुले-मुक्त फ्यूज्ड क्वार्ट्ज समाधान:

89% (ICP-MS विश्लेषण) द्वारा धातु संदूषण में कमी

3 से 8 महीने तक बढ़ाया निवारक रखरखाव अंतराल

<0.1ppb क्षार धातु सामग्री के साथ 99.999% प्रारंभिक शुद्धता हासिल की

विनिर्देशों से परे: अनुप्रयोग इंजीनियरिंग मामले

जबकि तकनीकी चश्मे आधारभूत तुलना प्रदान करते हैं, वास्तविक दुनिया का प्रदर्शन इस पर निर्भर करता है:

• सामग्री -प्रक्रिया युग्मन - कैसे घटक विशिष्ट केमिस्ट्री के साथ बातचीत करते हैं (जैसे, CL₂ बनाम SF₆ Plasmas)

• विफलता मोड लाइब्रेरी - 1,200+ घटक विफलता के मामलों का हमारा डेटाबेस सामग्री चयन को सूचित करता है

• कस्टम ग्रेडिंग - पार्ट क्रॉस -सेक्शन में ग्रेफाइट पोरसिटी/चालकता को समायोजित करना

अर्धविराम उच्च गुणवत्ता की पेशकश करता हैटैंटलम कार्बाइड कोटेडऔरसिलिकॉन कार्बाइड लेपितअनुकूलित भागों। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमारे साथ संपर्क करने में संकोच न करें।

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