Sic सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ में TAC कोटिंग के लाभ

वर्तमान में, सिलिकॉन कार्बाइड अर्धचालकों की तीसरी पीढ़ी पर हावी है। सिलिकॉन कार्बाइड उपकरणों की लागत संरचना में, सब्सट्रेट 47%के लिए खाता है, और एपिटैक्सी 23%योगदान देता है। साथ में, ये दो घटक समग्र विनिर्माण लागत का लगभग 70% प्रतिनिधित्व करते हैं, जिससे उन्हें सिलिकॉन कार्बाइड डिवाइस उत्पादन श्रृंखला में महत्वपूर्ण बना दिया गया है। नतीजतन, सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल की उपज दर में सुधार - और इस तरह सब्सट्रेट की लागत को कम करता है - एसआईसी डिवाइस उत्पादन में सबसे महत्वपूर्ण चुनौतियों में से एक बन गया है।

उच्च गुणवत्ता वाली, उच्च उपज तैयार करने के लिएसिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट, उत्पादन तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए बेहतर थर्मल फील्ड सामग्री की आवश्यकता है। थर्मल फील्ड क्रूसिबल किट वर्तमान में उपयोग में मुख्य रूप से एक उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट संरचना के होते हैं, जो तापमान बनाए रखते हुए पिघला हुआ कार्बन और सिलिकॉन पाउडर को गर्म करने के लिए नियोजित होता है। जबकि ग्रेफाइट सामग्री उच्च विशिष्ट शक्ति और मापांक, उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध, और अच्छे जंग प्रतिरोध का प्रदर्शन करती है, उनके पास उल्लेखनीय नुकसान भी हैं: वे उच्च तापमान वाले ऑक्सीजन वातावरण में ऑक्सीकरण के लिए प्रवण हैं, अमोनिया को अच्छी तरह से झेल सकते हैं, और खराब खरोंच प्रतिरोध है। ये सीमाएं सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल के विकास और सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल वेफर्स के उत्पादन में बाधा डालती हैं, जो ग्रेफाइट सामग्री के विकास और व्यावहारिक अनुप्रयोगों को प्रतिबंधित करती हैं। नतीजतन, टैंटलम कार्बाइड जैसे उच्च तापमान वाले कोटिंग्स कर्षण प्राप्त कर रहे हैं।

टैंटलम कार्बाइड लेपित घटकों के लाभ

उपयोगटैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्सक्रिस्टल एज दोषों से संबंधित मुद्दों को संबोधित कर सकते हैं और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता को बढ़ा सकते हैं। यह दृष्टिकोण "तेजी से, मोटा और लंबे समय तक बढ़ने" के मुख्य तकनीकी उद्देश्य के साथ संरेखित करता है। उद्योग अनुसंधान इंगित करता है कि टैंटालम कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट क्रूसिबल अधिक समान हीटिंग प्राप्त कर सकता है, एसआईसी एकल क्रिस्टल विकास के लिए उत्कृष्ट प्रक्रिया नियंत्रण प्रदान करता है और एसआईसी क्रिस्टल के किनारों पर पॉलीक्रिस्टलाइन गठन की संभावना को काफी कम कर देता है। इसके अतिरिक्त,टैंटलम कार्बाइड कोटिंगदो प्रमुख लाभ प्रदान करता है:

1. sic दोषों को कम करना

SIC सिंगल क्रिस्टल में दोषों को नियंत्रित करने के लिए आमतौर पर तीन प्रमुख रणनीतियाँ हैं। विकास मापदंडों को अनुकूलित करने और उच्च-गुणवत्ता वाले स्रोत सामग्री (जैसे कि SIC स्रोत पाउडर) का उपयोग करने के अलावा, टैंटलम कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट क्रूसिबल पर स्विच करना भी बेहतर क्रिस्टल गुणवत्ता को बढ़ावा दे सकता है।

2. ग्रेफाइट क्रूसिबल के जीवन को कम करना

SIC क्रिस्टल की लागत अधिक बनी हुई है; ग्रेफाइट उपभोग्य सामग्रियों में इस लागत का लगभग 30% हिस्सा है। लागत में कमी के लिए ग्रेफाइट घटकों की सेवा जीवन बढ़ाना महत्वपूर्ण है। एक ब्रिटिश अनुसंधान टीम के डेटा से पता चलता है कि टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स ग्रेफाइट घटकों के सेवा जीवन को 30-50%तक बढ़ा सकते हैं। इस जानकारी के आधार पर, टैंटलम कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट के साथ पारंपरिक ग्रेफाइट की जगह SIC क्रिस्टल की लागत को 9%-15%तक कम कर सकती है।

अर्धविराम उच्च गुणवत्ता की पेशकश करता हैटैंटलम कार्बाइड कोटेडcrucibles, susceptors, और अन्य अनुकूलित भागों। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमारे साथ संपर्क करने में संकोच न करें।

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