एलपीई सीआईसी-एपीआई हाफमून

उपकरण घटकों की सुरक्षा करके, संदूषण को रोककर, और लगातार प्रक्रिया की स्थिति सुनिश्चित करके, सेमीकोरेक्स एलपीई सीआईसी-एपीआई हाफमून सेमीकंडक्टर उद्योग को और अधिक परिष्कृत और उच्च-प्रदर्शन वाले उपकरणों का उत्पादन करने का अधिकार देता है जो हमारी तकनीकी दुनिया को शक्ति प्रदान करते हैं।

कई सामग्रियां ऊंचे तापमान पर प्रदर्शन में गिरावट का शिकार होती हैं, लेकिन सीवीडी टीएसी नहीं। एलपीई सीआईसी-एपीआई हाफमून, अपनी असाधारण थर्मल स्थिरता और ऑक्सीकरण के प्रतिरोध के साथ, एपिटेक्सी रिएक्टरों के भीतर आने वाले उच्च तापमान पर भी संरचनात्मक रूप से मजबूत और रासायनिक रूप से निष्क्रिय रहता है। यह लगातार हीटिंग प्रोफाइल सुनिश्चित करता है, खराब घटकों से संदूषण को रोकता है, और विश्वसनीय क्रिस्टल विकास को सक्षम बनाता है। यह लचीलापन TaC के उच्च गलनांक (3800°C से अधिक) और ऑक्सीकरण और थर्मल शॉक के प्रति इसके प्रतिरोध से उत्पन्न होता है।

कई एपिटैक्सियल प्रक्रियाएं बढ़ते क्रिस्टल तक घटक परमाणुओं को पहुंचाने के लिए सिलेन, अमोनिया और मेटलऑर्गेनिक्स जैसी प्रतिक्रियाशील गैसों पर निर्भर करती हैं। ये गैसें अत्यधिक संक्षारक हो सकती हैं, रिएक्टर घटकों पर हमला कर सकती हैं और संभावित रूप से नाजुक एपिटैक्सियल परत को दूषित कर सकती हैं। एलपीई सीआईसी-एपीआई हाफमून रासायनिक खतरों की बौछार के खिलाफ दृढ़ता से खड़ा है। प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रति इसकी अंतर्निहित जड़ता TaC जाली के भीतर मजबूत रासायनिक बंधनों से उत्पन्न होती है, जो इन गैसों को कोटिंग के साथ प्रतिक्रिया करने या फैलने से रोकती है। यह असाधारण रासायनिक प्रतिरोध LPE SiC-Epi हाफमून को कठोर रासायनिक प्रसंस्करण वातावरण में घटकों की सुरक्षा के लिए एक महत्वपूर्ण हिस्सा बनाता है।

घर्षण दक्षता और दीर्घायु का दुश्मन है। LPE SiC-Epi हाफमून की CVD TaC कोटिंग टूट-फूट के खिलाफ एक अदम्य ढाल के रूप में कार्य करती है, घर्षण गुणांक को काफी कम करती है और ऑपरेशन के दौरान सामग्री हानि को कम करती है। यह असाधारण पहनने का प्रतिरोध उच्च-तनाव वाले अनुप्रयोगों में विशेष रूप से मूल्यवान है, जहां सूक्ष्म पहनने से भी महत्वपूर्ण प्रदर्शन में गिरावट और समय से पहले विफलता हो सकती है। LPE SiC-Epi हाफमून इस क्षेत्र में उत्कृष्ट है, जो असाधारण अनुरूप कवरेज प्रदान करता है जो यह सुनिश्चित करता है कि सबसे जटिल ज्यामिति को भी एक पूर्ण और सुरक्षात्मक परत प्राप्त हो, जो प्रदर्शन और दीर्घायु को बढ़ाती है।

वे दिन गए जब सीवीडी टीएसी कोटिंग्स छोटे, विशेष घटकों तक ही सीमित थीं। निक्षेपण प्रौद्योगिकी में प्रगति ने 750 मिमी व्यास तक के सब्सट्रेट्स पर कोटिंग्स के निर्माण को सक्षम किया है, जिससे बड़े, अधिक मजबूत घटकों के लिए मार्ग प्रशस्त हुआ है जो और भी अधिक मांग वाले अनुप्रयोगों को संभालने में सक्षम हैं।

एलपीई रिएक्टर के लिए 8-इंच हाफमून पार्ट

एपिटैक्सी में सीवीडी टीएसी कोटिंग्स के लाभ:

उन्नत डिवाइस प्रदर्शन:प्रक्रिया की शुद्धता और एकरूपता बनाए रखते हुए, सीवीडी टीएसी कोटिंग्स बेहतर विद्युत और ऑप्टिकल गुणों के साथ उच्च गुणवत्ता वाली एपिटैक्सियल परतों के विकास में योगदान करती हैं, जिससे सेमीकंडक्टर उपकरणों में बेहतर प्रदर्शन होता है।

बढ़ी हुई थ्रूपुट और उपज:सीवीडी टीएसी-लेपित घटकों का विस्तारित जीवनकाल रखरखाव और प्रतिस्थापन से जुड़े डाउनटाइम को कम करता है, जिससे रिएक्टर अपटाइम में वृद्धि होती है और उत्पादन थ्रूपुट में वृद्धि होती है। इसके अतिरिक्त, कम संदूषण जोखिम प्रयोग करने योग्य उपकरणों की उच्च पैदावार में तब्दील हो जाता है।

लागत प्रभावशीलता:जबकि सीवीडी टीएसी कोटिंग्स की अग्रिम लागत अधिक हो सकती है, उनका विस्तारित जीवनकाल, कम रखरखाव की आवश्यकताएं, और बेहतर डिवाइस की पैदावार एपिटेक्सी उपकरण के जीवनकाल में महत्वपूर्ण लागत बचत में योगदान करती है।