सेमीकोरेक्स इनर गाइड ट्यूब एक उच्च प्रदर्शन वाला कार्बन/कार्बन मिश्रित घटक है जिसे गर्मी के प्रवाह को विनियमित करने और उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन क्रिस्टल विकास के दौरान एक स्थिर, समान थर्मल क्षेत्र बनाने के लिए इंजीनियर किया गया है। सेमीकोरेक्स उन्नत सामग्रियों और सटीक-इंजीनियर्ड घटकों का एक विश्वसनीय प्रदाता है, जो दुनिया भर में सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक विनिर्माण उद्योगों के लिए विश्वसनीय समाधान प्रदान करता है।*
सेमीकोरेक्स इनर गाइड ट्यूब एक सटीक-इंजीनियर्ड हैकार्बन/कार्बन (सी/सी) घटकउन्नत उच्च तापमान थर्मल क्षेत्र अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है, विशेष रूप से उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन क्रिस्टल के विकास में। क्रिस्टल विकास भट्टियों के भीतर एक महत्वपूर्ण तत्व के रूप में, यह घटक थर्मल ग्रेडिएंट को आकार देने और स्थिर करने, इष्टतम क्रिस्टल गठन और लगातार सामग्री की गुणवत्ता सुनिश्चित करने में केंद्रीय भूमिका निभाता है।
उच्च घनत्व वाले कार्बन फाइबर-प्रबलित कार्बन मिश्रित से निर्मित, इनर गाइड ट्यूब चरम स्थितियों में असाधारण संरचनात्मक अखंडता और थर्मल स्थिरता प्रदान करता है। ≥1.35 ग्राम/सेमी³ के घनत्व और ≥110 एमपीए की लचीली ताकत के साथ, यह लंबे समय तक ऊंचे तापमान के संपर्क में रहने के दौरान भी यांत्रिक मजबूती बनाए रखता है। ये गुण सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन उत्पादन में आवश्यक हैं, जहां थर्मल स्थितियों में मामूली उतार-चढ़ाव भी क्रिस्टल एकरूपता और दोष दर को महत्वपूर्ण रूप से प्रभावित कर सकते हैं।
सी/सी इनर गाइड ट्यूब की प्राथमिक भूमिका एक सटीक ढाल तापमान क्षेत्र का निर्माण करना है। सिलिकॉन क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के दौरान, इसे सीधे पिघल के ऊपर स्थित किया जाता है:
प्रत्यक्ष गैस प्रवाह: यह अक्रिय आर्गन गैस के प्रवाह को निर्देशित करता है, यह सुनिश्चित करता है कि सिलिकॉन ऑक्साइड (SiO) वाष्प पिघली हुई सतह से कुशलतापूर्वक बह जाए, जिससे क्रिस्टल में ऑक्सीजन संदूषण को रोका जा सके।
थर्मल परिरक्षण: यह क्रूसिबल दीवारों से सीधे गर्मी विकिरण से बढ़ते क्रिस्टल को बचाता है, उच्च गति, उच्च गुणवत्ता वाले क्रिस्टल खींचने के लिए आवश्यक खड़ी अक्षीय तापमान ढाल स्थापित करता है।
ऊर्जा दक्षता: पिघले हुए क्षेत्र के भीतर गर्मी को केंद्रित करके और ऊपरी भट्ठी के घटकों को इन्सुलेट करके, यह कुल बिजली की खपत को काफी कम कर देता है।
हमारे इनर गाइड ट्यूब उच्च-घनत्व का उपयोग करके निर्मित होते हैंकार्बन/कार्बन कंपोजिट, पारंपरिक ग्रेफाइट का एक बेहतर विकल्प प्रदान करता है। सेमीकंडक्टर वैक्यूम भट्टियों की चरम स्थितियों के लिए सामग्री गुणों को अनुकूलित किया गया है:
घनत्व: ≥ 1.35 ग्राम/सेमी³
लचीली ताकत: ≥ 110 एमपीए
थर्मल विस्तार का गुणांक (सीटीई): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K
तापीय चालकता (कमरे का तापमान): ≤ 10 W/(m·K)
जैसे-जैसे उद्योग बड़े वेफर आकार (300 मिमी और 450 मिमी) की ओर बढ़ता है, थर्मल क्षेत्र की मांग तेजी से बढ़ती है। हमारे इनर गाइड ट्यूब प्रमुख सीजेड फर्नेस ब्रांडों के साथ संगत हैं और इन्हें ज्यामिति और कोटिंग के संदर्भ में अनुकूलित किया जा सकता है।