क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नावें

क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नावेंआमतौर पर सेमीकंडक्टर वेफर्स को बाहरी ताप उपकरणों द्वारा गरम किए गए ताप उपचार उपकरणों की भट्ठी ट्यूबों के भीतर क्षैतिज रूप से पकड़ते हैं। इनका व्यापक रूप से उच्च तापमान संक्षारक अर्धचालक ताप उपचार प्रक्रियाओं, जैसे थर्मल ऑक्सीकरण, उच्च तापमान प्रसार, एनीलिंग और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रियाओं की मांग में उपयोग किया जाता है।

सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नौकाओं के कार्य

1.स्थिर धारण और सुरक्षा

सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नौकाओं में उत्कृष्ट भार-वहन क्षमता होती है और यह लगातार कई सेमीकंडक्टर वेफर्स के लिए स्थिर समर्थन प्रदान कर सकती है। और उनका अनुकूलित बाहरी डिज़ाइन और सटीक स्लॉट संरचना प्रत्येक को सुनिश्चित करती हैवफ़रक्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नौकाओं पर पूरी तरह से फिट और मजबूती से सुरक्षित है, जो परिवहन और विनिर्माण प्रक्रियाओं के दौरान झटकों, विस्थापन और झुकाव के कारण होने वाली वेफर खरोंच और टकराव को काफी कम कर देता है।

2.प्रक्रिया एकरूपता सहायता

क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नौकाओं की समान दूरी वाली स्लॉट संरचना अर्धचालक वेफर्स के व्यवस्थित प्लेसमेंट की अनुमति देती है, इस प्रकार उच्च तापमान भट्टियों में एक स्थिर और चिकनी गैस प्रवाह क्षेत्र बनाती है। संरचनात्मक डिजाइन प्रत्येक वेफर सतह पर लगातार गैस संपर्क और प्रतिक्रिया दर प्राप्त करता है, जिससे असमान हीटिंग और अंतर गैस संपर्क के कारण होने वाले विभिन्न दोषों को प्रभावी ढंग से कम किया जा सकता है, जैसे अधूरा वेफर ऑक्सीकरण, असमान पतली-फिल्म जमाव और डोपिंग एकाग्रता विचलन।

3. लंबे समय तक चलने वाली सेवा जीवन

क्वार्ट्ज सामग्री के बेहतर उच्च तापमान प्रतिरोध के लिए धन्यवाद, सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर नावें विरूपण या पिघलने के बिना लंबे समय तक 1100-1200 ℃ के उच्च तापमान का सामना कर सकती हैं।क्वार्ट्जआमतौर पर अर्धचालक प्रक्रियाओं में उपयोग की जाने वाली गैसों, जैसे ऑक्सीजन, नाइट्रोजन और हाइड्रोजन क्लोराइड के लिए रासायनिक रूप से निष्क्रिय है। यह असाधारण रासायनिक जड़ता प्रक्रिया गैसों से जंग के जोखिम को कम कर सकती है, सेवा जीवन को काफी बढ़ा सकती है और उपकरण प्रतिस्थापन समय और लागत को कम कर सकती है।