गर्म क्षेत्र के लिए ग्रेफाइट हीटर

समरूप तापमान वितरण:हॉट जोन के लिए ग्रेफाइट हीटर अपनी समान हीटिंग विशेषताओं के लिए प्रसिद्ध है, जो सावधानीपूर्वक सामग्री प्रसंस्करण और सटीक मशीनिंग के संयोजन के माध्यम से प्राप्त किया जाता है। यह समरूपता संपूर्ण हीटिंग सतह पर एक सुसंगत तापमान प्रोफ़ाइल सुनिश्चित करती है, थर्मल ग्रेडिएंट को कम करती है जिससे असमान वेफर प्रसंस्करण, कम उपज और असंगत डिवाइस प्रदर्शन हो सकता है।

असाधारण संक्षारण प्रतिरोध:हॉट जोन के लिए ग्रेफाइट हीटर आमतौर पर उच्च तापमान अर्धचालक प्रसंस्करण में आने वाली विभिन्न प्रकार की संक्षारक गैसों और रसायनों के प्रति उल्लेखनीय प्रतिरोध प्रदर्शित करता है। यह अंतर्निहित जड़ता दीर्घकालिक हीटर स्थिरता और प्रदर्शन सुनिश्चित करती है, संदूषण जोखिम को कम करती है और परिचालन जीवन काल को बढ़ाती है।

बेहतर ऑक्सीकरण प्रतिरोध:पारंपरिक ग्रेफाइट के विपरीत, हॉट जोन के लिए ग्रेफाइट हीटर ऊंचे तापमान पर भी ऑक्सीकरण के लिए बेहतर प्रतिरोध प्रस्तुत करता है। यह विशेषता हीटर की अखंडता को बनाए रखने और प्रसंस्करण कक्ष के भीतर कण संदूषण के गठन को रोकने के लिए महत्वपूर्ण है।

अति उच्च रासायनिक शुद्धता:हॉट जोन के लिए ग्रेफाइट हीटर को अति-उच्च शुद्धता स्तर प्राप्त करने के लिए संसाधित किया जाता है, जिससे अर्धचालक प्रसंस्करण वातावरण में अवांछित दूषित पदार्थों को शामिल करने का जोखिम कम हो जाता है। यह असाधारण शुद्धता नाजुक अर्धचालक सामग्रियों की अखंडता को बनाए रखने और निर्मित उपकरणों के वांछित विद्युत और ऑप्टिकल गुणों को सुनिश्चित करने के लिए आवश्यक है।

उच्च यांत्रिक शक्ति और स्थिरता:हॉट ज़ोन के लिए ग्रेफाइट हीटर में ऊंचे तापमान पर शानदार यांत्रिक शक्ति और आयामी स्थिरता होती है, जो थर्मल साइक्लिंग और यांत्रिक तनाव सहित उच्च तापमान संचालन की कठोरता को समझने में सक्षम मजबूत हीटर घटकों के निर्माण को सक्षम बनाता है।