ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड

सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड सेमीकंडक्टर थर्मल अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए एक उच्च शुद्धता, सटीक निर्मित ग्रेफाइट घटक है, जहां विद्युत चालकता, थर्मल स्थिरता और आयामी सटीकता सर्वोपरि है। वास्तव में, इस प्रकार के इलेक्ट्रोड का उपयोग उच्च तापमान वाली भट्टियों, एपिटैक्सी रिएक्टरों और थर्मल प्रसंस्करण कक्षों में किया जाता है, जो तापमान और वायुमंडल की आक्रामक परिस्थितियों में स्थिर वर्तमान संचालन, गर्मी हस्तांतरण और स्थिरता की सुविधा प्रदान करते हैं। सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड की अत्यधिक शुद्धता, ठोस संरचना की एकरूपता और उच्च यांत्रिक गुणों के कारण, वे सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों की मांग में हीटिंग तत्वों के रूप में विश्वसनीय थर्मल प्रदर्शन प्रदान कर सकते हैं।

ग्रेफाइट इलेट्रोड उच्च गुणवत्ता वाले महीन दाने वाले ग्रेफाइट सामग्री से निर्मित होता है, प्रत्येक को एक्सट्रूज़न, उच्च तापमान कार्बोनाइजेशन और ग्रेफाइटाइजेशन के उन्नत अनुक्रम का उपयोग करके बनाया जाता है। ग्रेफाइट माइक्रोस्ट्रक्चर को लगभग निरंतर विद्युत प्रतिरोधकता, उच्च तापीय चालकता और यांत्रिक स्थिरता के लिए डिज़ाइन किया गया है। अंतिम उत्पाद एक उच्च शुद्धता वाला थर्मल कंडक्टर है जो भौतिक स्थिति और उच्च शक्ति वाले वातावरण के साथ-साथ तेजी से तापमान में उतार-चढ़ाव में करंट का एक समान वितरण बनाए रखता है।

हमारे में अल्ट्रा प्रदर्शनग्रेफाइट

हमारा ग्रेफाइट बेहतर प्रदर्शन एकरूपता की गारंटी देता है। सबसे पहले, कार्बोनाइजेशन प्रक्रिया के दौरान, हमारी भट्टियों में केवल 115 घन मीटर होते हैं। हमारी तकनीकी टीम प्रत्येक भट्टी के विभिन्न क्षेत्रों में ग्रेफाइट उत्पादों के तापमान क्षेत्र की निगरानी करती है। प्रारंभिक निम्न-तापमान चरण (0-200°C) पर, हम तापमान को ±10°C के भीतर और उच्च तापमान (600°C से ऊपर) पर, ±1°C के भीतर नियंत्रित करते हैं। हम न केवल विभिन्न ग्रेफाइट कणों के बीच तापमान क्षेत्र की निगरानी करते हैं, बल्कि प्रत्येक व्यक्तिगत ग्रेफाइट टुकड़े की सतह और आंतरिक तापमान की भी निगरानी करते हैं, इसे ±3°C के भीतर नियंत्रित करते हैं। हम प्रत्येक कार्बोनाइजेशन भट्टी में 8 तापमान बिंदुओं की निगरानी करते हैं।

दूसरे, ग्राफ़िटाइज़ेशन प्रक्रिया के दौरान, उदाहरण के तौर पर 500 किलोग्राम बैच लेते हुए, हम 8 तापमान बिंदुओं की भी निगरानी करते हैं। ग्राफिटाइजेशन के बाद, हम एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए एक्स, वाई और जेड अक्षों के साथ 24 बिंदुओं का यादृच्छिक नमूना और विनाशकारी परीक्षण करते हैं। उद्योग में अधिकांश कंपनियाँ केवल X-अक्ष, या अधिकतम XY-अक्ष का परीक्षण करती हैं, विशिष्ट निर्माता केवल 6-8 बिंदुओं का परीक्षण करते हैं, और बेहतर निर्माता 12 बिंदुओं का परीक्षण करते हैं। हम 24 बिंदुओं का परीक्षण करते हैं।

सेमीकंडक्टर थर्मल क्षेत्र में, ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड हीटिंग असेंबली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, जो विद्युत प्रवाह को हीटिंग क्षेत्र में निर्देशित करता है और ऑक्सीकरण, प्रसार, एलपीसीवीडी, या एपिटेक्सी जैसी विशिष्ट प्रक्रिया में तापमान के नियंत्रित वितरण की अनुमति देता है। ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड को 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान पर एक विश्वसनीय परिचालन भूमिका निभानी चाहिए और ऐसा ऑक्सीकरण, विरूपण या ताप स्थल को दूषित करने का विरोध करते हुए करना चाहिए।

सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड में उत्कृष्ट विद्युत चालकता होती है, जो न्यूनतम नुकसान के साथ प्रभावी बिजली वितरण की सुविधा प्रदान करती है, और उनमें उत्कृष्ट तापीय चालकता होती है, जो भट्ठी में तेजी से समान गर्मी हस्तांतरण की अनुमति देती है। कम तापीय विस्तार और उच्च यांत्रिक शक्ति का संयोजन थर्मल साइक्लिंग के दौरान विरूपण और दरार को कम करता है, जिससे सेवा जीवन की लंबी अवधि में स्थिर व्यवहार प्राप्त होता है। संपर्क सतह पर लगातार संपर्क और नगण्य विद्युत प्रतिरोध सुनिश्चित करने के लिए प्रत्येक इलेक्ट्रोड को कठोर आयामी सहनशीलता और ठीक सतह फिनिश के लिए मशीनीकृत किया जाता है।

सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं की विशिष्ट आवश्यकताओं को ध्यान में रखते हुए, सेमीकोरेक्स किसी भी भट्ठी कॉन्फ़िगरेशन और पावर विनिर्देश को फिट करने के लिए कस्टम इलेक्ट्रोड डिज़ाइन इंजीनियर कर सकता है। विभिन्न व्यास, लंबाई, कनेक्शन के प्रकार या सतह फ़िनिश उपलब्ध कराई जा सकती है। जब आवश्यक हो, उच्च ऑक्सीजन या प्रतिक्रियाशील गैस वातावरण में ऑक्सीकरण प्रतिरोध और सेवा जीवन का समर्थन करने के लिए कोटिंग सामग्री, जैसे SiC या पायरोलाइटिक कार्बन, लागू किया जा सकता है।

की उच्च शुद्धताग्रेफाइट सामग्रीधातु की अशुद्धियों (और गैसीय अशुद्धियों) के अविश्वसनीय रूप से निम्न स्तर को सुनिश्चित करने का कार्य करता है, जो अक्सर 99.999% कार्बन से अधिक होता है। अशुद्धियों का इतना निम्न स्तर थर्मल प्रसंस्करण के दौरान अर्धचालक वेफर्स को दूषित होने से बचाने में मदद करता है। मशीनिंग की महत्वपूर्ण गहराई और पॉलिश सतह फिनिश के साथ, सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड अत्याधुनिक वेफर निर्माण प्रौद्योगिकियों की यांत्रिक और रासायनिक स्थिरता दोनों को पूरा करते हैं।

चाहे प्रसार भट्टियों, एपिटैक्सियल रिएक्टरों, या उच्च तापमान प्रसंस्करण उपकरण में उपयोग किया जाता है, सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड सबसे अधिक मांग वाले थर्मल वातावरण में बेजोड़ प्रदर्शन प्रदान करता है। उच्च शुद्धता, सटीक ज्यामिति और उन्नत सामग्री प्रसंस्करण के संयोजन से, सेमीकोरेक्स एक इलेक्ट्रोड समाधान प्रदान करता है जो अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए आवश्यक स्थिर वर्तमान संचालन, लगातार हीटिंग और दीर्घकालिक परिचालन विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।