कांचदार कार्बन कोटिंग महसूस किया

अर्धविराम ग्लासी कार्बन कोटिंग ने सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल रिएक्टरों में एक आंतरिक इन्सुलेशन परत के रूप में कार्य किया। यह एक उच्च-प्रदर्शन इन्सुलेशन सामग्री है जो उन्नत थर्मल वातावरण के लिए डिज़ाइन की गई है। यह उत्पाद अपने हल्के और उत्कृष्ट थर्मल इन्सुलेशन गुणों के कारण बेहतर समाधानों की पेशकश करके विशिष्ट अर्धचालक उच्च तापमान विनिर्माण चुनौतियों का सामना करता हैग्रेफाइट महसूस किया, सतह की अखंडता और रासायनिक जड़ता के साथ मिलकर एक ग्लासी कार्बन कोटिंग द्वारा प्रदान किया गया।

आधार सामग्री एक उच्च शुद्धता हैग्रेफाइट महसूस कियाअपनी कम तापीय चालकता उच्च तापमान स्थिरता और हल्के वजन के लिए चुना। सामान्य ग्रेफाइट में आमतौर पर सतह फाइबर शेडिंग और कण पीढ़ी को ऊंचे तापमान पर महसूस किया जाता है जो संवेदनशील एपिटैक्सियल सिस्टम में प्रक्रिया के वातावरण को दूषित कर सकता है। इस मुद्दे को कम करने के लिए, ग्रेफाइट की सतह को समान रूप से कांच के कार्बन की एक परत के साथ लेपित किया जाता है-कार्बन का एक घना, गैर-झरझरा रूप जो अपनी रासायनिक जड़ता, कम गैस पारगम्यता और असाधारण थर्मल स्थिरता के लिए जाना जाता है।

ग्लास कार्बन एक गैर-ग्राफिटाइज्ड कार्बन है जो कांच और सिरेमिक के गुणों को जोड़ती है। क्रिस्टलीय ग्रेफाइट के विपरीत, यह एक अनाकार, लगभग 100% SP2 हाइब्रिडेड कार्बन सामग्री है, जो कि एक अक्रिय गैस वातावरण में फेनोलिक राल, फ़्यूरफ्यूराइल अल्कोहल राल, आदि जैसे बहुलक कार्बनिक अग्रदूतों के उच्च तापमान वाले सिंटरिंग द्वारा बनाई जाती है। क्योंकि यह पूरे काले है और इसमें कांच के समान एक चिकनी सतह है, इसे ग्लास कार्बन कहा जाता है।

ग्लास कार्बन कोटिंग भट्ठी कणों की पीढ़ी को समाप्त कर सकती है, सील सतह के छिद्रों को प्रदान कर सकती है, उत्कृष्ट डिमोल्डिंग गुण हैं और पारगम्यता को कम कर सकते हैं, जिससे यह सामग्री अर्धचालक उद्योग में निरंतर कास्टिंग मोल्ड और उत्पादों के लिए बहुत उपयुक्त है। इस सामग्री में सेमीकंडक्टर उद्योग में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है, विशेष रूप से ग्रेफाइट भागों जैसे कि एकल क्रिस्टल सिलिकॉन खींचने वाले उपकरण घटकों, एपिटैक्सियल ग्रोथ घटक, निरंतर कास्टिंग मोल्ड्स, ग्लास सीलिंग जिग्स, आदि।

ग्लास कार्बन में अक्रिय गैस या वैक्यूम में 3000 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान प्रतिरोध होता है, और अन्य सभी सिरेमिक और धातु उच्च तापमान सामग्री के विपरीत, 2700k तक बढ़ते तापमान के साथ कांच के कार्बन की ताकत बढ़ जाती है, और यह भंगुर नहीं होता है और इसमें उच्च थर्मल शॉक प्रतिरोध होता है, इसलिए कम हीटिंग और ठंडा समय कोई समस्या नहीं है। इसके अलावा, ग्लासी कार्बन में कम द्रव्यमान, कम गर्मी अवशोषण और कम थर्मल विस्तार होता है, इसलिए यह लगभग सभी उच्च तापमान अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।

ग्लासी कार्बन कोटिंग ग्रेफाइट की सतह के छिद्रों को सील करने में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है, जो संचालन के दौरान कणों और कार्बन धूल की रिहाई को कम करती है। यह विशेष रूप से एसआईसी एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण है, जहां भी न्यूनतम संदूषण वेफर गुणवत्ता और डिवाइस प्रदर्शन से समझौता कर सकता है। एक चिकनी, कठोर ग्लासी कार्बन शेल के साथ महसूस किए गए झरझरा संरचना को एनकैप्सुलेट करके, कोटिंग प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर एक स्वच्छ और स्थिर थर्मल वातावरण सुनिश्चित करती है।

कांच के कार्बन कोटिंग के प्रमुख लाभों में शामिल हैं:

कम कण शेडिंग: घने कोटिंग प्रभावी रूप से ढीले फाइबर और कणों में लॉक हो जाती है, जिससे वेफर्स और रिएक्टर घटकों के संदूषण को रोका जाता है।

उच्च थर्मल स्थिरता: ग्रेफाइट महसूस किया गया और कांच का कार्बन दोनों ही अक्रिय या वैक्यूम वायुमंडल में 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान का सामना कर सकते हैं, जिससे उच्च तापमान वाली एसआईसी प्रक्रियाओं के लिए उत्पाद आदर्श बन जाता है।

रासायनिक जड़ता: ग्लासी कार्बन सतह अधिकांश एसिड और संक्षारक गैसों के लिए प्रतिरोधी है, जो कठोर परिस्थितियों में इन्सुलेशन परत के परिचालन जीवन का विस्तार करती है।

बेहतर प्रक्रिया स्थिरता: न्यूनतम कण पीढ़ी एक अधिक स्थिर और दोहराने योग्य एपिटैक्सियल विकास वातावरण में योगदान देती है, जो उच्च गुणवत्ता वाले एसआईसी वेफर्स के उत्पादन के लिए आवश्यक है।

कांच के कार्बन कोटिंग के अनुप्रयोगों को मुख्य रूप से एसआईसी एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टियों तक विस्तारित किया जाता है, जहां इसका उपयोग गर्म क्षेत्र के भीतर एक थर्मल इन्सुलेशन परत के रूप में किया जाता है। उत्पाद को आमतौर पर ऊपरी या निचले इन्सुलेशन स्टैक में एक अस्तर सामग्री के रूप में स्थापित किया जाता है, जहां यह थर्मल सुरक्षा और स्वच्छता आश्वासन दोनों प्रदान करता है।