फ़्यूज्ड क्वार्टज़ पेडस्टल

अर्धचालक निर्माण में, फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडस्टल क्वार्ट्ज नाव के लिए एक समर्थन संरचना के रूप में कार्य करता है, जो वेफर्स रखता है। एक स्थिर तापमान बनाए रखने से, यह एक समान पतली-फिल्म जमाव प्राप्त करने में मदद करता है, जो अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन और विश्वसनीयता के लिए एक महत्वपूर्ण कारक है। पेडस्टल यह सुनिश्चित करता है कि प्रक्रिया कक्ष के भीतर थर्मल और प्रकाश वितरण समान है, जिससे जमाव प्रक्रिया की समग्र गुणवत्ता में वृद्धि होती है।

फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज़ सामग्री के लाभ

1.उच्च तापमान प्रतिरोध

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडस्टल में लगभग 1730°C का नरमी बिंदु होता है, जो इसे 1100°C से 1250°C तक के तापमान पर लंबे समय तक उपयोग का सामना करने की अनुमति देता है। इसके अलावा, यह 1450 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान में अल्पकालिक जोखिम को सहन कर सकता है।

2. संक्षारण प्रतिरोध

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडस्टल हाइड्रोफ्लोरिक एसिड के अपवाद के साथ, अधिकांश एसिड के लिए रासायनिक रूप से निष्क्रिय है। इसका एसिड प्रतिरोध सिरेमिक से 30 गुना और स्टेनलेस स्टील से 150 गुना अधिक है। ऊंचे तापमान पर, कोई भी अन्य सामग्री फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज की रासायनिक स्थिरता से मेल नहीं खा सकती है, जो इसे कठोर रासायनिक वातावरण के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है।

3. तापीय स्थिरता

फ़्यूज़्ड क्वार्ट्ज़ पेडस्टल की असाधारण विशेषताओं में से एक इसका न्यूनतम थर्मल विस्तार गुणांक है। यह गुण इसे बिना टूटे गंभीर तापमान परिवर्तन का सामना करने की अनुमति देता है। उदाहरण के लिए, इसे तेजी से 1100°C तक गर्म किया जा सकता है और फिर बिना किसी नुकसान के कमरे के तापमान पर पानी में डुबोया जा सकता है - जो उच्च-तनाव वाली विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए एक आवश्यक विशेषता है।

विनिर्माण प्रक्रिया

उच्चतम गुणवत्ता मानकों को सुनिश्चित करने के लिए फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडस्टल की निर्माण प्रक्रिया को सावधानीपूर्वक नियंत्रित किया जाता है। पैडस्टल्स का निर्माण कक्षा 10,000 या उससे अधिक के क्लीनरूम वातावरण में आयोजित थर्मोफॉर्मिंग और वेल्डिंग प्रक्रियाओं के माध्यम से किया जाता है। इसके बाद अल्ट्राप्योर पानी से सफाई (18 MΩ)यह उत्पाद की शुद्धता और प्रदर्शन को भी सुनिश्चित करता है। सेमीकंडक्टर निर्माण की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए प्रत्येक फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडस्टल को कक्षा 1,000 या उच्चतर क्लीनरूम में कठोर निरीक्षण, सफाई और पैकेजिंग से गुजरना पड़ता है।

उच्च शुद्धता अपारदर्शी क्वार्ट्ज सामग्री

गर्मी और प्रकाश को प्रभावी ढंग से अवरुद्ध करने के लिए, फ़्यूज़्ड क्वार्ट्ज़ पेडस्टल उच्च शुद्धता वाली अपारदर्शी क्वार्ट्ज़ सामग्री का उपयोग करता है। इस सामग्री के अद्वितीय गुण प्रक्रिया कक्ष के भीतर एक स्थिर और समान तापमान बनाए रखने के लिए पेडस्टल की क्षमता को बढ़ाते हैं, जिससे वेफर्स पर पतली-फिल्म जमाव की लगातार गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।

अनुप्रयोगों की विस्तृत श्रृंखला

फ़्यूज़्ड क्वार्ट्ज़ पेडस्टल के असाधारण गुण इसे सेमीकंडक्टर उद्योग के भीतर विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाते हैं। एएलडी प्रक्रियाओं में, यह परमाणु स्तर पर पतली फिल्म के विकास के सटीक नियंत्रण का समर्थन करता है, जो उन्नत अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन के लिए आवश्यक है। एलपीसीवीडी प्रक्रियाओं के दौरान, पेडस्टल की थर्मल स्थिरता और प्रकाश-अवरुद्ध क्षमताएं समान फिल्म जमाव में योगदान करती हैं, जिससे डिवाइस के प्रदर्शन और उपज में सुधार होता है।

प्रसार प्रक्रियाओं में, फ़्यूज़्ड क्वार्ट्ज़ पेडस्टल का उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता अर्धचालक सामग्रियों की विश्वसनीय और सुसंगत डोपिंग सुनिश्चित करती है। अर्धचालक उपकरणों के विद्युत गुणों को परिभाषित करने के लिए ये प्रक्रियाएं महत्वपूर्ण हैं, और इष्टतम परिणाम प्राप्त करने के लिए फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज जैसी उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री का उपयोग आवश्यक है।