सी/सी हीटर

उन्नत अर्धचालक और फोटोवोल्टिक विनिर्माण में, उच्च गुणवत्ता वाली क्रिस्टल संरचनाओं को प्राप्त करने के लिए सटीक थर्मल नियंत्रण आवश्यक है। सेमीकोरेक्स सी/सी हीटर (कार्बन/कार्बन मेन हीटर) को असाधारण थर्मल एकरूपता और स्थिरता प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो इसे उच्च तापमान क्रिस्टल विकास प्रणालियों में एक महत्वपूर्ण घटक बनाता है।

ऊपर दिखाए गए सी/सी हीटर में सटीक-कट स्लॉट के साथ एक खंडित रिंग संरचना है, जिसे वर्तमान वितरण और थर्मल विकिरण को अनुकूलित करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह कॉन्फ़िगरेशन पूरे ताप क्षेत्र में अत्यधिक समान ताप उत्पादन को सक्षम बनाता है, थर्मल ग्रेडिएंट को प्रभावी ढंग से कम करता है और लगातार क्रिस्टल विकास स्थितियों का समर्थन करता है। इसका व्यापक रूप से मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन (सीजेड विधि) और पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन उत्पादन जैसी प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, जहां तापमान सटीकता सीधे सामग्री की गुणवत्ता और उपज को प्रभावित करती है।

पारंपरिक ग्रेफाइट हीटर अक्सर बार-बार उच्च तापमान चक्रों पर यांत्रिक दीर्घायु और थर्मल विरूपण के साथ संघर्ष करते हैं।सी/सी कंपोजिट, उच्च शक्ति वाले कार्बन फाइबर के साथ प्रबलित, एक बेहतर विकल्प प्रदान करता है। कार्बन फाइबर द्वारा प्रबलित कार्बन मैट्रिक्स का उपयोग करके, सी/सी हीटर सिलिकॉन पिंड विकास के दौरान पिघल-ठोस इंटरफ़ेस को नियंत्रित करने के लिए आवश्यक सटीक तापमान ग्रेडियेंट प्रदान करते समय असाधारण संरचनात्मक अखंडता बनाए रखता है।

मुख्य विशिष्टताएँ:

घनत्व: ≥1.50 ग्राम/सेमी³

तापीय चालकता (आरटी): ≥40 डब्लू/(एम·के)

विद्युत प्रतिरोधकता (आरटी): 20-30 μΩ·m

विद्युत प्रतिरोधकता (उच्च तापमान): 14-20 μΩ·m

सिलिकॉन ग्रोथ के प्रमुख लाभ

1. असाधारण तापीय एकरूपता

सी/सी मेन हीटर का प्राथमिक कार्य सममित ताप वितरण प्रदान करना है। मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन विकास में, तापमान प्रवणता में मामूली उतार-चढ़ाव से भी ऑक्सीजन वर्षा की समस्या या अव्यवस्था हो सकती है। हमारे हीटरों की फाइबर-प्रबलित संरचना यह सुनिश्चित करती है कि क्रूसिबल में गर्मी समान रूप से विकिरणित हो, जिससे स्थिर विकास दर को बढ़ावा मिले।

2. बढ़ी हुई रासायनिक शुद्धता

संदूषण अर्धचालक दक्षता का दुश्मन है। हमारे सी/सी हीटर उच्च तापमान शुद्धिकरण प्रक्रियाओं से गुजरते हैं ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि राख की मात्रा न्यूनतम (आमतौर पर <20पीपीएम) रखी जाए। यह धातु की अशुद्धियों को सिलिकॉन पिघल में जाने से रोकता है, जिससे एन-प्रकार या पी-प्रकार वेफर्स के लिए आवश्यक उच्च प्रतिरोधकता और वाहक जीवनकाल सुनिश्चित होता है।

3. दीर्घायु और लागत-दक्षता

मानक आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट की तुलना में,सी/सी कंपोजिटबहुत अधिक ताकत-से-वजन अनुपात रखते हैं। वे थर्मल शॉक के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी हैं और 1500℃ से अधिक तापमान पर लंबे समय तक उपयोग के बाद भंगुर नहीं होते हैं। इस स्थायित्व के परिणामस्वरूप फर्नेस को कम तोड़ा जाता है और फैब ऑपरेटरों के लिए स्वामित्व की कुल लागत कम होती है।

सेमीकंडक्टर उद्योग में अनुप्रयोग

जबकि मुख्य रूप से सिलिकॉन ड्रॉअर (सीजेड फर्नेस) में केंद्रीय हीटिंग तत्व के रूप में उपयोग किया जाता है, ये सी/सी हीटर भी इसके अभिन्न अंग हैं:

पॉलीसिलिकॉन रिडक्शन फर्नेस: रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया के लिए स्थिर गर्मी प्रदान करना।

उच्च तापमान वाले वैक्यूम फर्नेस: उन्नत सिरेमिक सामग्रियों की सिंटरिंग और एनीलिंग के लिए।